遼寧ALICAT總經(jīng)銷(xiāo) ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器沈陽(yáng)售后服務(wù) 艾里卡特Alicat氣體質(zhì)量流量控制器快速、精準(zhǔn)地確定穩(wěn)定的流量。與任何其它產(chǎn)品相比,我們的質(zhì)量流量控制器能夠更快地到達(dá)其設(shè)定值,使其能夠抑制管線壓力波動(dòng),因而不會(huì)影響您的過(guò)程下游。定制化閥門(mén)選配項(xiàng)和出廠PID調(diào)節(jié)能確保您的MFC在具體應(yīng)用中具備良好性能。
基于壓力的質(zhì)量流量?jī)x表的性能:
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在大多數(shù)流量?jī)x表上0.6%的讀數(shù)精度
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4 ms響應(yīng)時(shí)間
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無(wú)需預(yù)熱
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四個(gè)過(guò)程變量
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內(nèi)置的顯示
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工業(yè)協(xié)議
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壓力補(bǔ)償
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溫度補(bǔ)償
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寬動(dòng)態(tài)流量范圍
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遼寧ALICAT總經(jīng)銷(xiāo) ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器沈陽(yáng)售后服務(wù)
*詳細(xì)規(guī)格見(jiàn)產(chǎn)品說(shuō)明書(shū)*
MC系列氣體質(zhì)量流量控制器是我們的標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器,其型號(hào)眾多,可測(cè)量高達(dá)5000 slpm或者低至0.0025 sccm的流速。
若管線壓力較高(145-305 psig),請(qǐng)選擇MCQ系列高壓氣體質(zhì)量流量控制器。
MCW系列低壓損氣體質(zhì)量流量控制器適用于低壓損應(yīng)用環(huán)境、泄漏測(cè)試,也能縮短50 scccm或更低流速條件下的氣動(dòng)響應(yīng)時(shí)間。
若您需要現(xiàn)有熱式質(zhì)量流量控制器的簡(jiǎn)易替換件,MCE系列真空氣體質(zhì)量流量控制器將閥門(mén)置于內(nèi)部,使其工藝連接件與SEMI標(biāo)準(zhǔn)長(zhǎng)度相符。
對(duì)于真用應(yīng)用,MCV系列真空氣體質(zhì)量流量控制器是在MCE系列的基礎(chǔ)上另增加一氣動(dòng)截止閥。
BASIS系列OEM氣體質(zhì)量流量控制器是艾里卡特的緊湊型質(zhì)量流量控制器系列,專(zhuān)門(mén)設(shè)計(jì)用于OEM應(yīng)用和大量訂單環(huán)境。
為滿足生物反應(yīng)器市場(chǎng)的需求,Alicat發(fā)布了世界上專(zhuān)門(mén)用于生物行業(yè)的BIO系列氣體質(zhì)量流量控制器。
遼寧ALICAT總經(jīng)銷(xiāo) ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器沈陽(yáng)售后服務(wù)性能
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可用量程:0-100 sccm、0-1000 sccm、0-20 slpm 和0-50 slpm(參見(jiàn)零件編號(hào)標(biāo)簽)
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可調(diào)比:200:1(1/20和50 slpm)或100:1(100 sccm)
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校準(zhǔn)精度(NIST可溯源):±(1.5%讀數(shù)+0.5%滿量程)
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可重復(fù)性:0.5%滿量程
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標(biāo)準(zhǔn)控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù):100ms(可利用PID調(diào)節(jié)功能調(diào)節(jié))
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預(yù)熱時(shí)間:70ms,達(dá)到完整精度
遼寧ALICAT總經(jīng)銷(xiāo) ALICAT氣體質(zhì)量流量控制器沈陽(yáng)售后服務(wù)工作條件
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兼容氣體:空氣、氬氣、二氧化碳、氮?dú)狻⒀鯕狻⒁谎趸赏ㄟ^(guò)串行連接選擇氣體);訂購(gòu)時(shí)還可以選擇氦氣或氫氣校準(zhǔn)(僅使用一種氣體)
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工作溫度:0°C至+50°C
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內(nèi)部壓力(靜態(tài)):對(duì)于0-100和0-1000 sccm量程—145 psig(160 psia);對(duì)于0-20和0-50 slpm量程—60 psig(75 psia)
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耐受壓力:175 psig(190 psia)
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STP: 25°C & 1 atm(14.696 psia)