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當前位置: 首頁 » 供應產品 » 儀器儀表 » 計量標準器具 »半導體,液晶,燃燒,分析領域用質量流量控制器 KOFLOC 3200高端質量流量控制器

半導體,液晶,燃燒,分析領域用質量流量控制器 KOFLOC 3200高端質量流量控制器

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產品價格: 17800/人民幣 
最后更新: 2022-06-22 17:03:10
產品產地: 日本
發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
瀏覽次數: 375
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  • 公司基本資料信息
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    產品詳細說明

    MODEL 3200系列是新型質量流量控制器,是3910系列的后續產品,已在半導體,液晶,燃燒,分析和生物等廣泛領域得到驗證。
    它是一種適用于新Cofflock標準的高性能型號。

    • 配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器,實現高精度,高速響應
    • 采用常閉閥門,方向操作安全
    • 采用隔膜閥,減少死體積
    • F.1. SCCM分鐘流量支持(SR選項)
    • 低壓差兼容燃氣控制(LP選項)

    標準規格

    流量范圍
    (N2轉換20°C / 1 ATM)
    1SCCM~20SLM(任意條件選擇)
    傳感器方式 熱繞組傳感器
    閥門方法 比例螺線管閥門(未通電時關閉)
    控制范圍 2~100%(F.S.)
    響應速度 1秒內(±2%FS內)
    準確性 ±1%FS(15~35°C)
    再現性 ±0.2%F.S.
    操作壓差范圍 F.S.≤5SLM 50. 300 kPa(G)
    F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa(G)
    選項:低壓差規格(LP)可根據條件制造
    可工作壓力 300kPa(G)以下
    耐壓 980kPa(G)
    He泄漏率(* 1) 1 x 10-8 Pa.m3/s以下
    允許周圍溫度 0~50℃
    允許環境濕度 10~90%RH(無結露)
    氣體接觸材料 車身SUS316L
    隔膜SUS316
    閥座PTFE
    電氣連接 Dsub 9針KFC標準(符合SEMI標準)
    流量設定
    輸入信號
    0~5VDC
    (輸入阻抗1MΩ以上)
    流量輸出信號 0~5 VDC(外部負載電阻250kΩ以上)
    所需電源 +15 VDC(±5%)100 mA,-15 VDC(±5%)200 mA
    配件(車身尺寸) 標準1 / 4F 900(9 / 16.18 UNF)
    選項1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等
    重量 約1000g

    (* 1)不含滲透。
    長期滲透引起的泄漏量(參考值)為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

    警告

    流量范圍附帶的規格(流量范圍,精度,響應性等)是N2或空氣轉換中的規格。
    另外,生產規格條件是初級側小于300kPa,次級側向大氣開放。
    有關壓力條件,請另行咨詢。

    尺寸圖


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