半導體，液晶，燃燒，分析領域用質量流量控制器 KOFLOC 3200高端質量流量控制器

MODEL 3200系列是新型質量流量控制器，是3910系列的后續(xù)產品，已在半導體，液晶，燃燒，分析和生物等廣泛領域得到驗證。
它是一種適用于新Cofflock標準的高性能型號。

• 配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實現(xiàn)高精度，高速響應
• 采用常閉閥門，方向操作安全
• 采用隔膜閥，減少死體積
• F.1. SCCM分鐘流量支持（SR選項）
• 低壓差兼容燃氣控制（LP選項）

標準規(guī)格

流量范圍 （N2轉換20°C / 1 ATM）		1SCCM~20SLM（任意條件選擇）
傳感器方式		熱繞組傳感器
閥門方法		比例螺線管閥門（未通電時關閉）
控制范圍		2~100％（F.S.）
響應速度		1秒內（±2％FS內）
準確性		±1％FS（15~35°C）
再現(xiàn)性		±0.2%F.S.
操作壓差范圍		F.S.≤5SLM 50. 300 kPa（G）
		F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa（G）
		選項：低壓差規(guī)格（LP）可根據(jù)條件制造
可工作壓力		300kPa（G）以下
耐壓		980kPa（G）
He泄漏率（* 1）		1 x 10-8 Pa.m3/s以下
允許周圍溫度		0~50℃
允許環(huán)境濕度		10~90%RH（無結露）
氣體接觸材料		車身SUS316L
		隔膜SUS316
		閥座PTFE
電氣連接		Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準）
流量設定 輸入信號		0~5VDC （輸入阻抗1MΩ以上）
流量輸出信號		0~5 VDC（外部負載電阻250kΩ以上）
所需電源		+15 VDC（±5％）100 mA，-15 VDC（±5％）200 mA
配件（車身尺寸）		標準1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 選項1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等
重量		約1000g

（* 1）不含滲透。
長期滲透引起的泄漏量（參考值）為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

警告

流量范圍附帶的規(guī)格（流量范圍，精度，響應性等）是N2或空氣轉換中的規(guī)格。
另外，生產規(guī)格條件是初級側小于300kPa，次級側向大氣開放。
有關壓力條件，請另行咨詢。

尺寸圖