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日本科賦樂3665標準質量流量控制器 科賦樂流量控制器

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產品價格: 8950/人民幣 
最后更新: 2022-06-17 09:43:18
產品產地: 日本
發貨地: 本地至全國 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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    產品詳細說明

    標準質量流量控制器

    MODEL 3660 SERIES

    日本科賦樂3665標準質量流量控制器 科賦樂流量控制器,主要結構緊湊,成本低廉。
    從大學和研究機構的研發應用中,我們作為各種分析儀器和真空設備的標準模型取得了許多成就,我們有各種衍生模型和選項。

    • 配備流量傳感器,采用改進的恒流溫差檢測方法,實現高速響應
    • 采用常閉閥門,方向操作安全
    • 通過電磁執行器確保高可靠性
    • 燃氣控制的低壓差規格(LP選項:僅限3660)

    標準規格   日本科賦樂3665標準質量流量控制器 科賦樂流量控制器

    模型 3660 3665
    流量范圍
    (N2轉換20°C / 1 ATM)
    10SCCM~20SLM(可選) 30SLM~100SLM(可選)
    傳感器方式 熱繞組傳感器
    閥門方法 比例螺線管閥門(未通電時關閉)
    控制范圍(* 1) 2~100%(F.S.) 5~100%(F.S.)
    響應速度 在2秒內
    (在±2%F.S.內)
    在3秒內
    (在±2%F.S.內)
    準確性 ±1.0%F.S.(25°C) ±1.5%F.S.(25°C)
    溫度系數 ±0.1%F.S./°C(15~35°C) ±0.2%F.S./°C(15~35°C)
    再現性 ±0.5%F.S.
    操作壓差 F.S.≤5SLM 50~300 kPa(G) F.S.≤50SLM 150~300 kPa(G)
    F. S.> 5 SLM 100~300 kPa(G) F. S.> 50 SLM 200~300 kPa(G)
    可選:中壓差壓規格(MP),低壓差規格(LP)可根據條件制造
    壓力(* 1) 980kPa(G)
    He泄漏率(* 2) 1 x 10-8 Pa.m3/s以下
    允許周圍溫度 5~45℃
    允許環境濕度 10~90%RH(無結露)
    氣體接觸材料 主體SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼
    閥座FKM(選件CR或NBR)
    密封材料FKM(選件CR或NBR)
    電氣連接 Dsub 9針KFC標準(符合SEMI標準)
    流量設定
    輸入信號
    0~5VDC
    (輸入阻抗1MΩ以上)
    流量輸出信號 0~5 VDC(外部負載電阻250kΩ以上)
    所需電源 +15 VDC(±5%)100 mA,。15 VDC(±5%)250 mA
    接頭
    (體型)
    標準1 / 4F900
    (9 / 16.18 UNF)
    選項1/8 F900,1 / 4 UJR,Rc1 / 4等
    標準3 / 8F 900
    (9 / 16.18 UNF)
    選項1 / 2F 900,3 / 8 UJR,Rc 3/8等
    重量 約1000g 約1500g

    (* 1)不含滲透。
    長期滲透引起的泄漏量(參考值)為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

    警告

    流量范圍附帶的規格(流量范圍,精度,響應性等)是N2或空氣轉換中的規格。
    另外,生產規格條件是初級側小于300kPa,次級側向大氣開放。
    有關壓力條件,請另行咨詢。

    尺寸圖   日本科賦樂3665標準質量流量控制器 科賦樂流量控制器


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