上海反應(yīng)釜設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT反應(yīng)釜氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器

產(chǎn)品價(jià)格：	9980/人民幣
最后更新：	2022-06-29 09:48:17
產(chǎn)品產(chǎn)地：	美國
發(fā)貨地：	北京 (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	504

公司基本資料信息

北京芯笙微納電子科技有限公司
郭先生
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產(chǎn)品詳細(xì)說明

上海反應(yīng)釜設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT反應(yīng)釜氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器性能的質(zhì)量流量控制器只需將流量保持在您的設(shè)定值。艾里卡特MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可快速達(dá)到新的設(shè)定值，并保持該設(shè)定值，即使在壓力突然增加的情況下，亦如此。我們將根據(jù)您的應(yīng)用參數(shù)為您定制閥門和PID調(diào)節(jié)功能，確保相關(guān)產(chǎn)品能快速實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定控制。

多功能。監(jiān)控流速的同時(shí)控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準(zhǔn)儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網(wǎng)/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項(xiàng)，可將這款產(chǎn)品輕松整合到您的數(shù)字工業(yè)網(wǎng)絡(luò)中。
耐用。MC系列氣體質(zhì)量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時(shí)流動。為保證對環(huán)境影響的耐受性，我們可為您的質(zhì)量流量控制器構(gòu)建IP66等級防護(hù)。

上海反應(yīng)釜設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT反應(yīng)釜氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器性能

可用量程：0-5000 slpm；最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm（欲了解常備量程，參見零件編號標(biāo)簽）
可調(diào)比：200:1（MC系列）或100:1（MCS系列）
標(biāo)準(zhǔn)精度（NIST可溯源）：±（0.8%讀數(shù)+0.2%滿量程）
高精度（選配，NIST可溯源）：±（0.4%讀數(shù)+0.2%滿量程）
可重復(fù)性：0.2%滿量程
標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量流量控制器響應(yīng)時(shí)間常數(shù)：50-100ms（若有PID調(diào)節(jié)功能，可縮短至25ms）
無需預(yù)熱時(shí)間

工作條件

兼容氣體：98（MC系列）或130（MCS系列）種預(yù)置可選氣體；利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
工作溫度：-10°C至+60°C
內(nèi)部壓力（靜態(tài)）：145 psig（160 psia）
耐受壓力：175 psig（190 psia）

上海反應(yīng)釜設(shè)備氣體質(zhì)量流量控制器 ALICAT反應(yīng)釜氮?dú)赓|(zhì)量流量控制器包裝清單

MC系列氣體質(zhì)量流量控制器（電源需另行訂購）
NIST可溯源校準(zhǔn)證書
艾里卡特操作說明書

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