半導體真空設備氣體質量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質量流量控制器

產品價格：	9980/人民幣
最后更新：	2022-07-01 10:00:13
產品產地：	美國
發貨地：	北京 (發貨期：當天內發貨)
供應數量：	不限
有效期：	長期有效
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公司基本資料信息

北京芯笙微納電子科技有限公司
郭先生
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產品詳細說明

半導體真空設備氣體質量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質量流量控制器MCV系列真空氣體質量流量控制器是真空專用設備。MCE系列產品的特征如下：與我們標準質量流量控制器的控制響應速度一樣快，外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標準氣體質量流量控制器實現端對端的匹配連接。

MCV和MCE聯系緊密，采用內置氣動截止閥，適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上，防止在設定點為零時出現污染情況。

多功能。監控流速的同時控制壓力；可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通訊選項，可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
耐用。MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動。

半導體真空設備氣體質量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質量流量控制器

型號變體

閥門內置（確保與SEMI端口長度一致）型號（MCE系列）
閥門內置并加裝氣動截止閥的型號，適合真空應用（MCV系列）
腐蝕性氣體型號（MCS系列，見下文）

另有：

閥門安裝在外部的標準配置型號(MC系列)

半導體真空設備氣體質量流量控制器 ALICAT MCV系列真空氣體質量流量控制器

閥門選項

您可以為您的質量流量控制器定制以下一種閥門，以確保在預期過程條件下保持性能。

MCE系列—選配外部安裝的小型比例控制閥
MCV系列—選配內部安裝的小型比例控制閥以及外部下游安裝的氣動截止閥

艾里卡特MCV系列真空氣體質量流量控制器采用內部安裝的小型比例閥門控制較小流量，適用于非腐蝕性氣體。MCV還配有一個下游用的氣動截止閥。

MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
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