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半導體真空設備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質量流量控制器

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產品價格: 15800/人民幣 
最后更新: 2022-06-27 09:39:55
產品產地: 美股
發貨地: 北京 (發貨期:當天內發貨)
供應數量: 不限
有效期: 長期有效
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    產品詳細說明

    半導體真空設備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質量流量控制器  MCV系列真空氣體質量流量控制器是真空專用設備。MCE系列產品的特征如下:與我們標準質量流量控制器的控制響應速度一樣快,外形包括1/4″ VCR焊接接頭且能與SEMI標準氣體質量流量控制器實現端對端的匹配連接。

    MCV和MCE聯系緊密,采用內置氣動截止閥,適用于高真空應用。將空氣管線連接到截止閥上,防止在設定點為零時出現污染情況。

    • 多功能。監控流速的同時控制壓力;可選擇另一臺已知路程氣體校準儀或者利用COMPOSER?氣體編輯器確定自己的氣體組成。
    • 連接。利用以太網/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus(RTU和TCP/IP)或串行通訊選項,可將這款產品輕松整合到您的數字工業網絡中。
    • 耐用。MCE和MCV系列真空氣體質量流量控制器可在不受損的情況下讓液體暫時流動

    半導體真空設備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質量流量控制器 

    • 可用量程:0-20 slpm;最小0-0.5 sccm/0-500 sμlm(欲了解常備量程,請參見零件編號標簽)
    • 可調比:200:1(MCE/MCV)或者100:1 (MCES/MCVS)
    • 標準精度(NIST可溯源):±(0.8%讀數+0.2%滿量程)
    • 高精度(選配,NIST可溯源):±(0.4%讀數+0.2%滿量程)
    • 可重復性:0.2%滿量程
    • 標準控制器響應時間常數:50-100ms(若有PID調節功能,可縮短至25ms)
    • 氣動閥漏氣率(僅MCV系列):1 x 10-9 atm scc/sec(值,氦氣)
    • 無需預熱時間

    工作條件

    • 兼容氣體:98種(MCE/MCV系列)或130種(MCES/MCVS系列)預置可選氣體;利用COMPOSER氣體編輯器自定義的其它混合氣體
    • 工作溫度:-10°C至+60°C
    • 內部壓力(靜態):145 psig(160 psia)
    • 耐受壓力:175 psig(190 psia)
    • STP/NTP:用戶可選(默認為25°C & 1 atm STP/0°C & 1 atm NTP)

    半導體真空設備氣體流量控制器 ALICAT MCV氣體質量流量控制器 MCV系列包裝清單:




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