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設(shè)備名稱： |
半自動(dòng)顯影清洗機(jī) |
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適應(yīng)工件： |
2～8寸晶圓片清洗 |
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批量產(chǎn)能： |
8寸25PCS/批 |
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工藝流程： |
QDR←顯影→QDR←顯影→QDR |
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工藝槽功能： |
循環(huán)過(guò)濾+加熱冷卻+上下抖動(dòng)+硅片滾動(dòng) |
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主要材料： |
金屬骨架+PVC/PPW殼板，槽體采用PPN/PVDF材質(zhì) |
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運(yùn)送方式： |
手動(dòng)傳送 |
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節(jié)拍時(shí)間： |
依工藝5～15min可調(diào) |
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其他說(shuō)明： |
此設(shè)備可根據(jù)客戶要求定制全自動(dòng)顯影機(jī) |
