設(shè)備名稱：

半自動(dòng)顯影清洗機(jī)

適應(yīng)工件：

2～8寸晶圓片清洗

批量產(chǎn)能：

8寸25PCS/批

工藝流程：

QDR←顯影→QDR←顯影→QDR

工藝槽功能：

循環(huán)過(guò)濾+加熱冷卻+上下抖動(dòng)+硅片滾動(dòng)

主要材料：

金屬骨架+PVC/PPW殼板，槽體采用PPN/PVDF材質(zhì)

運(yùn)送方式：

手動(dòng)傳送

節(jié)拍時(shí)間：

依工藝5～15min可調(diào)

其他說(shuō)明：

此設(shè)備可根據(jù)客戶要求定制全自動(dòng)顯影機(jī)