傳感器方式 | 熱繞組傳感器 |
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流量范圍(N2) | 10/50/100/500 SCCM 1/5/10/20 SLM | 50/100/200 SLM |
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可氣體 1) | N2(空氣,H2,He,Ar,O2,CO2等/通過CF轉(zhuǎn)換切換) | N2(空氣切換,Ar / CF轉(zhuǎn)換) |
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響應(yīng) | 2秒以內(nèi) |
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精度 2) | ±1.0F.S. (25℃) | ±1.5%FS(25°C) |
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溫度系數(shù) | ±0.2F.S./℃ (15~35℃) ※200SLMのみ±0.4F.S./℃ |
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再現(xiàn)性 | ±0.2F.S. |
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耐壓 | 980kPa(G) |
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允許周圍溫度 | 5~50℃ |
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允許保管溫度 | -10~60℃ |
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允許工作濕度 | 10~90RH (無結(jié)露) |
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氣體接觸材料 | SUS316,SUS316L,PTFE,F(xiàn)KM(可選NBR,CRP) |
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電氣連接 | DC插孔或Dsub 9針公頭 |
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數(shù)字通信 | RS 485(MODBUS協(xié)議,RTU模式)ID:1-247 |
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所需電源(DC) | 24VDC(±10) 100mA以下 |
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接頭 | 1/4F900(標(biāo)準(zhǔn)) | 3/8F900(標(biāo)準(zhǔn)) |
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控制針(可選) | MODEL2412 | MODEL2412D |
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安裝姿勢 | 水平方向 |
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輸出 | 輸出方式 | NPN開集 2點(diǎn)(額定值:DC30V 50mA) |
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輸出數(shù)量 | 2點(diǎn)(每個(gè)輸出可以選擇并設(shè)置為瞬時(shí)流量上限,下限,上限/下限或積分到達(dá),積分脈沖也可以在1點(diǎn)選擇。)輸出反轉(zhuǎn)是可能的 |
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活動(dòng)展示 | LED燈(OUT1,OUT2)亮起 |
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模擬輸出 4) | ①4~20mA (500Ω以下) ②0~5V (10kΩ以上) ③1~5V (10kΩ以上) |
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重量 | 約600g (不含接頭) | 約700g (不含接頭) |
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