測量、測控氣體介質的質量流量

美國ALICATMC20系列質量流量控制器

Alicat的LK2系列數字式質量流量控制器可通過定制化的高速比例調節閥測量與控制過程氣體的質量流量體積流量和壓力，還可同時測量并顯示氣體溫度。

MC20系列質量流量控制器內部無可移動組件和熱元件通過抗振動測試對安裝方向不敏感。Alicat提供總體的用戶支持，包括技術咨詢

快捷的設備校準服務和質保。

alicat模擬量氣體流量控制器M20系列

標準精度0.8RD 0.2FS、高精度0.4RD 0.2FS

有效范圍0.5-

內置90-130條氣體曲線可選

響應速度100MS

多種數字信號可選

alicat模擬量氣體流量控制器M20系列

性能/參數

MC20系列質量流量控制器

流量范圍

0.5SCCM-5000SLPM

可自行修改流量單位如kg/h、g/min等

標定氣體

內置90條氣體可選擇

精度(調零后)

±(0.8Rd 0.2FS)

高精度(調零后)

±(0.4Rd 0.2FS),限于5SCCM-500SLPM

重復性

±0.2FS

漂移(零點/滿量程)

0.02 F.S/oC/Atm

工作范圍

0.5-

響應時間

100毫秒(調整)

啟動預熱時間

1秒內

標準工況

25oC & 14.696 psia，可自定義修改

工作溫度范圍

-10~-50℃(另有高溫訂制品)

工作濕度范圍

0-RH(非冷凝)

工作壓力

10Bar

安裝方向

任意

閥門狀態

常閉

材質