TKSCT氣體過濾器系列有:
哈式合金氣體過濾器
不銹鋼氣體過濾器
PTFE氣體過濾器
IGS氣體過濾器
陶瓷氣體過濾器
材質結構
超高純在線式過濾器 ■哈式合金氣體過濾器全哈氏合金結構 ■ 高溫及動態壓力測試 ■ 不銹鋼氣體過濾器全316L不銹鋼結構 ■ 尺寸緊湊，可變的末端連接 ■ PTFE氣體過濾器濾芯為PTFE材質,本體材質為316L，內部電解拋光 ■ IGS氣體過濾器具有高可靠性耐沖擊和震動 ■陶瓷氣體過濾器內部為316L 電解拋光處理 廣泛應用于化學品行業
產品特性
▪ 流量大，12-800SLPM
▪ 受腐蝕的部位采用哈氏合金，適用于惰性氣體及腐蝕性強的氣體
▪ 卓越的性能滿足大多數半導體工藝氣體
▪ PTFE材料具備良好的抗腐蝕性能及兼容性
▪ 過濾等級為0.0025μm，即使在高流速的情況下，也不會引起出口端壓力的下降
▪ 內部拋光等級為5Ra，防止其內部污染
▪ 通過高溫氮氣及去離子水清潔，滿足半導體行業的標準
▪ 清潔及包裝在100級潔凈室內
▪ 100%氦氣檢測
