快速的響應時間,大流量范圍,流動速率大于20 slpm。操作壓力5-50 1500 psig psid,壓降(最小壓力下降取決于氣體和范圍)溫度、環境/氣:41°F(5到149到65°C),
輸入電壓:0到5伏直流電(200 K歐姆輸入電阻)
輸出信號0到5伏直流電到2000年歐姆(或者更高)負荷,5伏直流電±0.01 Vdc參考輸出,不超過負荷2 K歐姆。
電器連接:卡連接器(鍍金)或d型連接器(DA-15P)。
經銷美國生產的各種半導體行業用高純質量流量計:
AERA,Tylan,MKS,Brooks,UNIT,STEC等品牌;所有產品都備有庫存,基本保證在一周之內交貨,有雄厚的技術實力為依托,為客戶量身定制符合生產需要的具體流量,大小精度控制,管道端接的配合以及電路板的連接形式等,定制適合國內生產設備各種氣體控制用質量流量計。