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AERA - Advanced Energy 質(zhì)量流量計(jì)：
FC-260 Series; FC-760 Series; FC-770 Series; FC-780 Series; FC-980 Series; FC-7600 Series; FC-7700 Series; FC-7800 Series; FC-D980 Series.
BROOKS 質(zhì)量流量計(jì)：
0550 Series; 5850 Series; 5860 Series; 5964 Series; 6256 Series; SLA 4800 Series; SLA 5800 Series; SLA 6800 Series; SLA 7800 Series;
SLA 7900 Series
MKS 質(zhì)量流量計(jì)：
1150 Series; 1159 Series; 1179 Series; 1259 Series; 1479 Series; 1479 D-Net;
1559 Series; 1679 Series; 2259 Series;
TYLAN - MILLIPORE - MYKROLIS - CELERITY 質(zhì)量流量計(jì)：
FC-260 Series; FC-280 Series; FM-360 Series; FM-3360
Series; FC-2900 Series; FC-2900M Series; VC-4900 Series; Source V, VI, VII, VIII
HORIBA / STEC 質(zhì)量流量計(jì)：
4400; 4400M; 4500; 4500M; 4600; 7320; 7330; 7340; 7350
UNIT INSTRUMENTS - CELERITY 質(zhì)量流量計(jì)：
UFC-1000 Series; UFC-1100 Series; UFC-1160/1161 Series; UFC-1200 Series;
UFC-1260/1261 Series; UFC-1400 Series; UFC-1500 Series; UFC-1660/1661 Series;
UFC-1662 SDS Series; UFC-1665 D-Net; UFC-2000 Series; UFC-3000 Series;
UFC-3160 Series; UFC-3165 D-Net; UFC-2550/3550 SDS Series;
UFC-8100 Series; UFC-8165 D-Net; UFC-9150 Series; UFC-8160/8161 Series
