美國(guó)MKS1179A氣體質(zhì)量流量計(jì)是一種通用型彈性密封的質(zhì)量流量控制器，可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制氣體的流量，特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器，它還可以作為壓力控制器使用。對(duì)于當(dāng)今市場(chǎng)上的質(zhì)量流量控制器，1179A可作為直接替代的產(chǎn)品，標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使1179能夠直接進(jìn)行安裝無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式，其精度為全量程的1%。
技術(shù)參數(shù)：
全量程：10SCCM，20SCCM，50SCCM，100SCCM，200SCCM，500SCCM，1000SCCM，2000SCCM，5000SCCM，10000SCCM，20000SCCM。控制量程：2% to 100% 的全量程。測(cè)量精度：全量程的1% 靈敏度：全量程的0.1%熱機(jī)時(shí)間：小于2Min.
MKS流量計(jì)主要產(chǎn)品：MKS金屬和彈性密封型流量計(jì)MKS1179A,MKS1479A,MKS2179A,MKS1559A，MKS流量控制器，MKS電容式壓力計(jì)
