Aera FC-D770 工業用數字質量流量控制器滿足了工業制造中獨特的需求,同時帶來了杰出的性能和價值。它的設計整合了工業環境所必需的輸入/輸出選項。這些選項是帶有多氣體多量程 (MGMR) 功能以及成本低的彈性體密封件。憑借出色的速度、精確性和可重復性,Aera FC-D770 質量流量控制器提高了產量和薄膜品質。現場可編程的 MGMR 選擇也同時實現了高度的便利性和靈活性。
性能:
出眾的薄膜和蝕刻品質
更大的產量
最大限度的便利性和靈活性
世界級的服務和支持
特點:
杰出的速度、精確性、穩定性和可重復性
卓越的可靠性
經濟型彈性體密封件設計
多氣體多量程選項
容易進行現場編程
具有重新校準功能的無限制氣體選擇
迅速整合
RS-485、RS-232、電流回路以及模擬控制
多重警報和診斷功能