LAM/AMAT等離子刻蝕機 ESC 靜電吸盤 靜電卡盤 E-CHUCK

ESC靜電卡盤系統由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈沖保護；靜電吸附單元電極采用高頻導體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用聚酰薄膜覆膜，在保證輸出穩定，同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。靜電卡盤系統由靜電吸附控制器、靜電吸附單元及組成。靜電吸附主機具有漏電保護、電流過載保護及高壓脈沖保護；靜電吸附單元電極采用高頻導體，表面一種采用氮化鋁陶瓷覆膜，另外一種采用 PI薄膜覆膜，在保證輸出穩定，同時避免高壓靜電壓尖銳擊穿。