1.設備概況

l? 名稱：顯影清洗臺

l? 型號：CSE-JR11-N001；

l? 機臺尺寸 : 2000mmWx1500mmDx2000mmH

l? 重量：600Kg( 大約)；

l? 工作環境：室內放置；

2.機臺臺面

l? 操作臺面高度為850mm，適合于身高為1.5m到1.8m人員操作；

3.整機構造

l? 骨架：優質不銹鋼骨架，外包3mmPP板防腐焊接而成；

l? 外殼：德國進口10mm瓷白PP板熱焊接而成；

l? 防護門：正面操作側采用透明上下推拉門；

l? 管路：管路位于機臺下后部，以節省空間，采用英制接口；

l? 排風：根據流體學原理設計位于機臺后上部，并配有導流和風量調節裝置；

l? 工作照明：機臺上方配黃光照明（與工作區隔離）；

l? DI/N2 GUN：可伸縮的N2 Gun和DI水槍個1把，置于工作區右側；

l? 臺面板為德國10mm PP板（帶有漏液孔）；

l? 人機界面：Touch Screen彩色界面；

l? 支腳：有滑輪裝置和固定裝置，可調整高度和鎖定；

l? 三色報提示等和蜂鳴器

4.控制系統

l? PLC可程式控制器（歐姆龍）＋Touch Screen 8"彩色人機界面操作。

l? 制程參數皆采用可設定、修改、記憶制程模式；

l? 操作模式可分為自動/手動/編輯/維修。

l? 配有獨立配電箱，電路區進行功能分塊，強電、弱電塊，以便于維護；

l? 具Password功能以避免操作人員誤改參數：

Password-1.啟動及可進入自動模式內容。

Password-2可進入編輯模式修改制程參數。

Password-3可進入手動模式。

5.安全保護

l? 設備采用耐腐蝕導線并通過氟套管進行保護，防腐防水；

l? 設有防漏電斷路保護裝置；

l? 電控部分正壓空體保護，防水防腐；

l? 設備有可靠的接地裝置及緊急關機和提示系統；

l? EMO 裝置緊急按鈕開關；

l? 蜂鳴器聲鳴提示工作完成，三色提示燈及蜂鳴聲光故障提示；

l? 機臺底部設有防漏盤及漏液感知；

l? 液位異常感知/安全液位保護；

l? 加熱保護；

6.工作槽參數