勻膠機(jī)（中國半導(dǎo)體行業(yè)十大標(biāo)志性品牌）

臺(tái)式勻膠機(jī)
中國半導(dǎo)體行業(yè)十大標(biāo)志性品牌產(chǎn)品
華尊獎(jiǎng)（中國行業(yè)標(biāo)志性品牌推選活動(dòng)組委會(huì))

MINGAO現(xiàn)生產(chǎn)銷售KW-4A型旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)。其價(jià)格便宜、體積小巧、使用方便，是一款膜層精密均勻鍍覆的理想產(chǎn)品。其防滑、防震、便攜的設(shè)計(jì)，使其成為實(shí)驗(yàn)室中高級(jí)科研設(shè)備。

勻膠機(jī)簡述：

型號(hào)：KW-4A

勻膠機(jī)又稱甩膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膠機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂層機(jī)、旋轉(zhuǎn)涂布機(jī)、真空鍍膜機(jī)，其總體由在國際上SOL-GEI技術(shù)領(lǐng)先的香港銘奧技術(shù)公司(HK MINGAO  TECHNOLOGY, INC) 設(shè)計(jì)完成。其主要關(guān)鍵元器件由美國進(jìn)口，整機(jī)裝配由深圳銘奧公司安裝調(diào)試完成。該機(jī)2009年已通過CE認(rèn)證，其抗干擾以及干擾性都較其他非CE產(chǎn)品要好。該性能的具體表現(xiàn)為：當(dāng)該勻膠機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，它不影響同處一室的其他設(shè)備，以保證其他設(shè)備的正常使用（如指針不漂移等受干擾后有影響的反應(yīng)）；同時(shí)它本身也不會(huì)受到其他同處一室的設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的磁場的干擾。從而保證實(shí)驗(yàn)效果的穩(wěn)定性和可靠性。另外由于本公司采取了一些特殊的工藝手段，保證了轉(zhuǎn)盤轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)平穩(wěn)性，從而保證了制備出來的膜層厚度均勻性。上述證明凱美特公司的勻膠機(jī)能使實(shí)驗(yàn)具有良好的重復(fù)性、一致性、穩(wěn)定性。由于銘奧公司從2009年以來一直從事于溶膠-凝膠（SOL-GEL）技術(shù)、工藝、及設(shè)備的研究、開發(fā)。公司根據(jù)對(duì)這技術(shù)和工藝的深刻了解所研發(fā)出的薄膜制備設(shè)備系列十多年來以優(yōu)良的品質(zhì)及良好的售后服務(wù)暢銷中國、歐美、新加坡、韓國、日本以及臺(tái)灣地區(qū)等經(jīng)濟(jì)和科技發(fā)達(dá)國家和地區(qū)。

KW—4A型勻膠機(jī)適用于微電子、半導(dǎo)體、制版、新能源、生物材料、光學(xué)及表面涂覆等工藝，主要應(yīng)用于溶膠-凝膠（sol-gel）實(shí)驗(yàn)中的薄膜制作，其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片，利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂布在基片上，厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同，也和旋轉(zhuǎn)速度及時(shí)間有關(guān)。可在工礦企業(yè)、科研、教育等單位作生產(chǎn)、科研、教學(xué)之用。

兩級(jí)鍍膜工藝
該工藝允許在低速和高速下鍍覆。KW-4A型旋轉(zhuǎn)鍍膜機(jī)可對(duì)多種基片（包括新型可旋鍍SPI Supplies氮化硅薄膜窗和多窗陣列）進(jìn)行金屬氧化物、高分子和有機(jī)薄膜的鍍覆。鍍膜機(jī)的轉(zhuǎn)速越高，鍍膜越薄。
其他實(shí)用信息：
理論上，最大基片的對(duì)角線長為9"(229mm)。通常，KW-4A所用最大標(biāo)準(zhǔn)尺寸

本機(jī)具有以下特點(diǎn)：

 1．電機(jī)勵(lì)磁和電樞分開供電。勵(lì)磁用12伏直流穩(wěn)壓電源供電，電樞用運(yùn)放控制IRF830調(diào)速，它比可控硅調(diào)速優(yōu)越，故其轉(zhuǎn)速在500—8000轉(zhuǎn)/分范圍內(nèi)非常穩(wěn)定。

2．本勻膠機(jī)有兩檔轉(zhuǎn)速。在啟動(dòng)之后，先以低速運(yùn)轉(zhuǎn)，然后自動(dòng)變到高速運(yùn)轉(zhuǎn)。兩檔速度及運(yùn)行時(shí)間分別可調(diào)。

3．本勻膠機(jī)采用光電檢測，數(shù)字電路測速，對(duì)電機(jī)的轉(zhuǎn)速檢測快速準(zhǔn)確。電機(jī)穩(wěn)速方面采用了光電隔離的精密負(fù)反饋電路，使整機(jī)在高達(dá)8000RPM以上轉(zhuǎn)速時(shí)仍十分穩(wěn)定，有力的保證了勻膠質(zhì)量。

4．“吸片”采用電子開關(guān)控制電磁閥完成氣路通斷，這樣適合流水線工藝，一個(gè)氣泵可同時(shí)帶幾臺(tái)勻膠機(jī)工作，提高效率。

5．勻膠機(jī)定時(shí)采用可調(diào)定時(shí)電路控制，面板上調(diào)節(jié)Timer旋鈕即可改變勻膠時(shí)間。

6．在安裝結(jié)構(gòu)上，采取了減震措施，因而勻膠機(jī)在運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音很低。

7．電磁閥與電機(jī)運(yùn)行有連鎖功能，電磁閥未動(dòng)作不能啟動(dòng)電機(jī)運(yùn)行，本次勻膠電機(jī)未停不能進(jìn)行下次勻膠，若運(yùn)行中誤按“CONTROL”鍵也不能停止吸氣，即不會(huì)產(chǎn)生跑片。

 

由于采用了以上一系列措施，故本機(jī)具有很高的轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性和快速啟動(dòng)性，可以保證涂覆表面均勻，并可通過調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)涂覆厚度。

技術(shù)指標(biāo)：本機(jī)具有兩級(jí)轉(zhuǎn)速

SpeedⅠ調(diào)速范圍 500—2000轉(zhuǎn)/分

TimerⅠ勻膠時(shí)間 3—18秒

SpeedⅡ轉(zhuǎn)速范圍 1000—8000轉(zhuǎn)/分

TimerⅡ勻膠時(shí)間 3—60秒

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定度 ±1%

電源電壓（二種） 220v/ 50Hz或110v /50Hz

電機(jī)功率 40W

被鍍物質(zhì)尺寸 Φ8—Φ150mm

真空泵抽氣速率 ≥60升/分

儀器尺寸：220×240×260 mm

毛重：6.8 Kg

體積緊湊：
KW-4A型勻膠機(jī)深10"(25.4cm)，寬8.5"(21.5cm)，高8.5"(21.5cm)，重15磅(6.8kg)。對(duì)工作空間不足的用戶來說，該款精致的產(chǎn)品非常理想。裝運(yùn)尺寸：17"(43.2cm)x14"(35.6cm)x11"(27.9cm)；裝運(yùn)重量：20磅(9.1kg).

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