1、X射線光電子能譜（XPS） 
2、俄歇電子能譜（AES物質的組織成相結構
3、X射線衍射儀（XRD）
4、掃描電子顯微鏡(SEM)
5、X射線能譜儀(EDS)
6、微納米力學綜合測試系統
7、電化學綜合測試儀
8、輪廓儀  
9、金相顯微鏡
10、X射線熒光測厚儀  等
極高的表面靈敏度 < 10nm
檢測原子序數大于氦的所有元素, 檢測極限:0.1％
化學價態信息
深度分布
面掃描、線掃描分析

X光管：Cu靶、Co靶
光路：聚焦光路用于體相材料分析，同時配備高溫樣品臺，溫度范圍：室溫～1200℃
小角衍射（薄膜樣品）
利用全反射可以測薄膜厚度

粉末、塊體試樣的物相測定
晶粒度、點陣常數測定
鋼和鑄鐵中殘余奧氏體測定
表面涂層、滲層物相分析
材料失效與事故分析
首飾鑒定
研究材料的高溫相變過程
薄膜材料的物相結構