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產品特點
程控恒流驅動式四環四區表面冷光光源，可適應復雜的工作測量。
具有快速自動對焦，自動尋邊，強大的編程和自動測量功能。
采用亞像五彩紛呈細分技術，提高邊界分辨能力。
在線SPC數據處理分析，大批量冶具測量。
Xyz三軸步進伺服控制，定位精度高速度快，XY速度可達180mm/S，運行平穩。
采用自主開發的嵌入式模塊控制系統，將復發的控制系統集成于儀器內部，穩定性更高。
采用花崗石底座，性能穩定，不易變形。
激光指示器指示測量位置，快速定位。
可選配自動變倍功能，無需像五彩紛呈校正實現多倍率下高效測量。
儀器型號 |
VMS-2515H VMS-3020H VMS-4030H |
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工作臺 |
金屬臺尺寸mm |
450*280 500*330 606*466 |
玻璃臺尺寸mm |
306*196 350*250 450*350 |
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運動行程mm |
220*120 270*170 370*270 |
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z軸升降行程mm |
150（調焦） 150（調焦） 150（調焦） |
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xyz軸數顯分辨率 |
0.5μm 0.5μm 0.5μm |
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Xy坐標示值誤差 |
（3+L/75）μm L為被測長度，單位：mm |
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儀器重量KG |
146 168 266 |
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外形尺寸mm |
760*600*900 970*670*940 |
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