1、光氧設備利用臭氧的強氧化性，一百八十五納米的波長紫外線，也叫做真空紫外線，常說的臭氧，它有極強的氧化性，目前光氧設備廢氣處理用的光解紫外線燈，主要是利于光氧設備紫外線持續和氧結合產生的臭氧來分解有機廢氣。
2、光氧設備利用185nm高能量紫外線來打斷分子鍵，大多數化學物質的分子結合能比光氧設備波長的的能量低，因此污染物質分子鍵經過光氧設備高能紫外線光能的裂解能被打斷，光氧設備波長紫外線是真空紫外線，光氧設備從燈管里出來就和氧結合產生了光氧設備臭氧，光氧設備基本是在燈管表面或附近有少量強度，光氧設備能通過波長紫外線打斷分鍵來處理的，光氧設備有機廢氣基本是能和光氧設備燈管表面接觸或光氧設備燈管近距離的一部分。光化學反應，是打斷光氧設備分子鍵裂解分子結構，同時光氧設備氧化還原反應，光氧設備兩種作用其實是同時進行的。
3、光氧設備利用254nm波長的紫外線的光催化作用來分解有機廢氣,光氧設備光觸媒在254nm波長的紫外光作用下 , 光氧設備激發物質表面電子 , 光氧設備可連續發生能級躍遷 , 繼而光氧設備電子飛出 , 光氧設備形成具有超強氧化能力的空穴和具有超強還原能力的電子,光氧設備空穴、電子對與表面和空氣中水反應后可產生活性氧和氫氧自由基等活性物質，這些活性物質具有極強的氧化作用 , 光氧設備不僅能氧化破壞微生物 , 光氧設備也可將有機化學污染物完全氧化破壞 , 從而光氧設備起到潔凈環境和除臭等作用。光氧設備由于在這種反應過程中光觸媒不參與反應 , 從而使光氧設備反應可反復進行，所以光氧設備光觸媒可長期持久地起作用。
