MEMS麥克風(fēng)結(jié)構(gòu)和封裝示意圖這些優(yōu)勢(shì)使MEMS麥克風(fēng)成為設(shè)計(jì)的理想選擇。當(dāng)然，若想設(shè)計(jì)的聲級(jí)計(jì)，MEMS麥克風(fēng)還需彌補(bǔ)一些缺陷。由于MEMS麥克風(fēng)是在器件級(jí)提供數(shù)字信號(hào)，因此無(wú)法從電路中單獨(dú)移出壓力敏感腔，并單獨(dú)測(cè)試模擬鏈路。而聲級(jí)計(jì)的所有相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)都編寫(xiě)于2世紀(jì)7年代，并假設(shè)聲級(jí)計(jì)設(shè)計(jì)包括一個(gè)單獨(dú)的麥克風(fēng)振腔，驅(qū)動(dòng)一個(gè)模擬處理鏈或者一個(gè)模數(shù)轉(zhuǎn)換器（ADC），然后是一個(gè)數(shù)字處理鏈。這就要求使用電信號(hào)代替麥克風(fēng)來(lái)測(cè)試聲級(jí)計(jì)。 (1)集中供氣原理：是將各種實(shí)驗(yàn)分析儀器需要使用的各類氣體鋼瓶，全部放置在實(shí)驗(yàn)室以外獨(dú)立的氣瓶間內(nèi)，進(jìn)行集中管理。 ① 集中供氣方式：各類氣體從氣瓶間以管道輸送形式，按照不同實(shí)驗(yàn)儀器的用氣要求輸送到每個(gè)實(shí)驗(yàn)室不同的實(shí)驗(yàn)儀器上。 ② 整套系統(tǒng)包括：氣源集合壓力控制部分(匯流排)、輸氣管線部分(EP級(jí)不銹鋼管)、二次調(diào)壓分流部分(功能柱)以及與儀器連接的終端部分(接頭、截止閥)。 ③ 整套系統(tǒng)要求：具有良好的氣密性、高潔凈度、耐用性和安全可靠性，能滿足實(shí)驗(yàn)儀器對(duì)各類氣體不間斷連續(xù)使用的要求，并且在使用過(guò)程中根據(jù)實(shí)驗(yàn)儀器工作條件對(duì)整體或局部氣體壓力、流量進(jìn)行全量程調(diào)整以滿足不同的實(shí)驗(yàn)條件的要求。 ④ 集中供氣優(yōu)點(diǎn)：可實(shí)現(xiàn)氣源集中管理，遠(yuǎn)離實(shí)驗(yàn)室，保障實(shí)驗(yàn)人員的安全; ⑤ 集中供氣缺點(diǎn)：供氣方式缺點(diǎn)是供氣管道長(zhǎng)，導(dǎo)致浪費(fèi)氣體，開(kāi)啟或關(guān)閉氣源要到氣瓶間，使用欠方便。 (2)分散供氣：是將氣瓶或氣體發(fā)生器分別放在各個(gè)儀器分析室，接近儀器用氣點(diǎn)。 ① 分散供氣優(yōu)點(diǎn)：使用方便，節(jié)約用氣，投資少; ② 分散供氣缺點(diǎn)：但由于氣瓶接近實(shí)驗(yàn)人員，安全性欠佳; ③ 分散供氣要求：一般要求采用防爆氣瓶柜，并待報(bào)警功能與排風(fēng)功能。 ④ 報(bào)警器分類：報(bào)警器分為可燃性氣體報(bào)警器及非可燃性氣體報(bào)警器。 ⑤ 氣瓶柜要求：氣瓶柜應(yīng)設(shè)有氣瓶安全提示標(biāo)志，氣瓶安全固定裝置。
二、實(shí)驗(yàn)室用氣體種類 ① 常用氣體: 有壓縮空氣、精密儀器使用的高純氣體、化學(xué)反應(yīng)實(shí)驗(yàn)使用的實(shí)驗(yàn)氣體(如：)及輔助實(shí)驗(yàn)使用的煤氣等。 ② 高純氣體：原子吸收、氣質(zhì)聯(lián)用、氣相色譜、ICP等精密儀器使用的高純氣體主要有惰性氣體(如：氦氣、氬氣)、不燃?xì)怏w(如：二氧化碳、氮?dú)?、易燃?xì)怏w(如：氫氣、乙炔)、助燃?xì)怏w(如：氧氣)等。 ③ 氣體來(lái)源：實(shí)驗(yàn)室用氣除了個(gè)別可由氣體發(fā)生器提供，其它常用氣體主要由氣體鋼瓶提供。 ④ 種類和標(biāo)志：氧氣瓶(天藍(lán)色黑字)、氫氣瓶(深綠色紅字)、氮?dú)馄?黑色黃字)、壓縮空氣瓶(黑色白字)、乙炔瓶(白色紅字)二氧化碳瓶(綠白色黑字)、氬氣瓶(灰色綠字)、氦氣瓶(棕色)。
