MEMS麥克風結構和封裝示意圖這些優勢使MEMS麥克風成為設計的理想選擇。當然,若想設計的聲級計,MEMS麥克風還需彌補一些缺陷。由于MEMS麥克風是在器件級提供數字信號,因此無法從電路中單獨移出壓力敏感腔,并單獨測試模擬鏈路。而聲級計的所有相關標準都編寫于2世紀7年代,并假設聲級計設計包括一個單獨的麥克風振腔,驅動一個模擬處理鏈或者一個模數轉換器(ADC),然后是一個數字處理鏈。這就要求使用電信號代替麥克風來測試聲級計。 (1)集中供氣原理:是將各種實驗分析儀器需要使用的各類氣體鋼瓶,全部放置在實驗室以外獨立的氣瓶間內,進行集中管理。 ① 集中供氣方式:各類氣體從氣瓶間以管道輸送形式,按照不同實驗儀器的用氣要求輸送到每個實驗室不同的實驗儀器上。 ② 整套系統包括:氣源集合壓力控制部分(匯流排)、輸氣管線部分(EP級不銹鋼管)、二次調壓分流部分(功能柱)以及與儀器連接的終端部分(接頭、截止閥)。 ③ 整套系統要求:具有良好的氣密性、高潔凈度、耐用性和安全可靠性,能滿足實驗儀器對各類氣體不間斷連續使用的要求,并且在使用過程中根據實驗儀器工作條件對整體或局部氣體壓力、流量進行全量程調整以滿足不同的實驗條件的要求。 ④ 集中供氣優點:可實現氣源集中管理,遠離實驗室,保障實驗人員的安全; ⑤ 集中供氣缺點:供氣方式缺點是供氣管道長,導致浪費氣體,開啟或關閉氣源要到氣瓶間,使用欠方便。 (2)分散供氣:是將氣瓶或氣體發生器分別放在各個儀器分析室,接近儀器用氣點。 ① 分散供氣優點:使用方便,節約用氣,投資少; ② 分散供氣缺點:但由于氣瓶接近實驗人員,安全性欠佳; ③ 分散供氣要求:一般要求采用防爆氣瓶柜,并待報警功能與排風功能。 ④ 報警器分類:報警器分為可燃性氣體報警器及非可燃性氣體報警器。 ⑤ 氣瓶柜要求:氣瓶柜應設有氣瓶安全提示標志,氣瓶安全固定裝置。
二、實驗室用氣體種類 ① 常用氣體: 有壓縮空氣、精密儀器使用的高純氣體、化學反應實驗使用的實驗氣體(如:)及輔助實驗使用的煤氣等。 ② 高純氣體:原子吸收、氣質聯用、氣相色譜、ICP等精密儀器使用的高純氣體主要有惰性氣體(如:氦氣、氬氣)、不燃氣體(如:二氧化碳、氮氣)、易燃氣體(如:氫氣、乙炔)、助燃氣體(如:氧氣)等。 ③ 氣體來源:實驗室用氣除了個別可由氣體發生器提供,其它常用氣體主要由氣體鋼瓶提供。 ④ 種類和標志:氧氣瓶(天藍色黑字)、氫氣瓶(深綠色紅字)、氮氣瓶(黑色黃字)、壓縮空氣瓶(黑色白字)、乙炔瓶(白色紅字)二氧化碳瓶(綠白色黑字)、氬氣瓶(灰色綠字)、氦氣瓶(棕色)。