愛德華干式真空泵：零油污染，適配半導體、質譜與航天測試，磁懸浮技術壽命超10萬小時
性能特點與核心優勢
1. 零油污染，潔凈真空革命
- 干式無油運行：采用非接觸式螺桿與爪式壓縮技術，完全摒棄潤滑油，避免油蒸氣反流污染真空腔體，滿足半導體制造、質譜分析等對潔凈度要求嚴苛的場景。
- 低顆粒物釋放：精密加工腔體與表面硬化涂層工藝，減少摩擦微粒產生，保障航天器真空測試中敏感元件的安全性。
2. 磁懸浮技術驅動長效壽命
- 超10萬小時連續運行：磁懸浮軸承消除機械磨損，對比傳統油潤滑泵壽命提升3倍以上，顯著降低設備停機與維護成本。
- 低振動與低噪音：主動磁懸浮控制技術抑制轉子振動，噪音低于65dB，適配實驗室、無塵車間等安靜環境需求。
3. 高效節能與智能控制
- 變頻節能技術：根據負載動態調節轉速，能耗較傳統泵降低40%，支持企業ESG（環境、社會與治理）目標達成。
- IoT智能監控：內置傳感器實時反饋壓力、溫度、振動數據，支持云端接入與異常預警，實現預防性維護。
4. 多行業兼容性
- 適配寬泛壓力范圍（10?? mbar至大氣壓），可集成至半導體刻蝕設備、質譜儀離子源、航天器真空熱試驗艙等多樣化系統。
行業應用場景
1. 半導體芯片制造
- 用于刻蝕機、CVD/PVD鍍膜設備，避免油污染導致的晶圓缺陷，提升28nm以下先進制程良率。
2. 質譜分析儀器
- 為質譜儀離子源與檢測器提供穩定無油真空環境，確保痕量氣體檢測的精準度與重復性。
3. 航天器真空熱試驗
- 在衛星、火箭組件真空熱試驗中耐受極端溫度循環（-150℃至+120℃），保障測試可靠性。
4. 制藥與生物工程
- 支持凍干機、無菌灌裝線的潔凈真空需求，符合GMP認證標準。
愛德華干式真空泵以零污染、超長壽命與多場景適配性，成為高附加值產業的真空技術選擇
- 技術領先性：磁懸浮技術突破傳統泵壽命瓶頸，MTBF（平均無故障時間）達行業頂尖水平。
- 全流程潔凈保障：從芯片制造到藥品封裝，徹底消除油污染風險，降低產品報廢率。
- 全生命周期成本優勢：10萬小時免維護設計+智能節能系統，幫助客戶降低30%以上綜合運營成本。
- 全球化技術支持：愛德華提供定制化真空方案設計與快速備件供應，覆蓋歐洲、亞洲、美洲主要工業區。
