愛德華RV系列真空泵應用真空冶金薄膜覆層LED封裝等應用
愛德華真空泵以高精度、高可靠性、多場景適配性著稱，廣泛應用于半導體、光伏、科研、醫療等高技術領域。
核心產品線及特點
1. 干式真空泵（Dry Vacuum Pumps）
- 無油污染設計：
采用爪式、螺桿式或渦旋式結構，零潤滑油，杜絕油蒸氣反流，滿足半導體、制藥等行業潔凈度要求（顆粒物＜0.1 μm，碳氫化合物＜0.01 ppm）。
- 耐腐蝕性能：
鍍鎳涂層或陶瓷轉子，耐受Cl?、CF?、O?等腐蝕性氣體（如等離子刻蝕工藝）。
- 節能高效：
變頻驅動（VSD）技術，能耗降低30%~50%，適配24小時連續生產。
代表型號：
-nXDS系列：抽速10~600 m3/h，極限真空≤1×10?2 mbar，適配半導體刻蝕與薄膜沉積。
- STP系列：耐腐蝕設計，用于光伏電池鍍膜與LED制造。
2. 渦輪分子泵（Turbo Molecular Pumps）
- 超高真空性能：
磁懸浮或陶瓷軸承技術，極限真空達10?1?~10?11 mbar，適配高精度鍍膜、粒子加速器、質譜分析。
- 高速穩定：
轉速90,000 RPM，抽速200~5,000 L/s（氫氣），支持快速抽氣與壓力穩定控制。
- 智能監控：
集成振動傳感器與溫度保護，故障率降低80%。
代表型號：
- EXT系列磁懸浮泵：零機械磨損，壽命＞100,000小時，用于EUV光刻與先進半導體工藝。
-nEXT系列：緊湊型設計，適配實驗室與小型設備。
3. 低溫泵（Cryopumps）
- 超大抽速：
對水蒸氣、氫氣等氣體抽速達10,000~50,000 L/s，極限真空≤10?1? mbar。
-無震動干擾：
無機械運動部件，適配電子顯微鏡、表面分析儀等精密儀器。
- 快速再生：
自動加熱再生周期＜2小時，減少停機時間。
代表型號：
-CoolPak系列：集成冷頭與壓縮機，適配真空鍍膜與空間模擬。
關鍵性能優勢
維度
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技術表現
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行業價值
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潔凈度
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全干式無油設計，顆粒物排放＜0.1 μm
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滿足半導體、制藥超潔凈需求
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極限真空
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干式泵：10?2 mbar；分子泵：10?11 mbar
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適配高精度科研與先進制程
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耐腐蝕性
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陶瓷/鍍鎳轉子耐受Cl?、O?、NF?等離子體氣體
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延長刻蝕與CVD工藝設備壽命
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能效比
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變頻驅動節能30%~50%，IE4高效電機
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年省電費超$10,000（以50kW機型計）
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智能化
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IoT遠程監控+預測性維護，故障預警準確率＞90%
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減少非計劃停機，提升OEE 15%~20%
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典型應用場景
1. 半導體制造
- EUV光刻：EXT磁懸浮分子泵維持超低真空（10?? mbar），保障光刻膠無污染。
- 原子層沉積（ALD）：nXDS干式泵快速抽除前驅體氣體，膜厚均勻性±0.1 nm。
2. 光伏與顯示行業
- OLED蒸鍍：STP干式泵耐高溫（150℃），抽速穩定保障有機材料均勻沉積。
- 鈣鈦礦電池鍍膜：渦輪分子泵+低溫泵組合，真空度達10?? mbar，減少缺陷。
3. 科研與醫療
- 同步輻射光源：低溫泵抽速50,000 L/s，維持超高真空束線環境。
- 冷凍電鏡：無振動低溫泵保障亞埃級成像精度。
4. 工業制造
- 真空釬焊：干式泵快速排除氧化氣體，焊縫強度提升30%。
- 真空冶金：分子泵組實現10?? mbar環境，提升金屬純度。
客戶價值
1.技術領先：
- 磁懸浮分子泵、耐腐蝕干式泵等技術，打破國際壟斷。
- 適配3nm以下先進半導體制程與EUV光刻需求。
2. 成本優化：
- 干式泵免潤滑油維護，年節省耗材費用$5,000~$20,000。
- 智能監控系統減少意外停機損失，綜合成本降低25%。
3. 可持續性：
- 低能耗設計減少碳足跡，兼容綠色工廠標準（ISO 50001）。
- 長壽命設計（分子泵壽命＞10萬小時），減少設備更換頻次。
選型建議
應用場景
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推薦產品
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關鍵配置
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半導體刻蝕
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nXDS系列干式泵
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耐Cl?腐蝕涂層+變頻驅動
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EUV光刻
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EXT系列磁懸浮分子泵
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極限真空10?? mbar+遠程監控模塊
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實驗室分析
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nEXT渦輪分子泵
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緊湊設計+低振動軸承
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真空鍍膜
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CoolPak低溫泵
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抽速20,000 L/s+自動再生功能
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愛德華真空泵以超潔凈、耐腐蝕、智能化為核心，成為高端制造與科研領域的標桿：
- 半導體行業：突破EUV光刻與3nm制程真空技術瓶頸；
- 光伏與顯示：保障OLED與鈣鈦礦電池量產良率；
- 科研醫療：為超精密儀器提供無振動、超高真空環境。
如需定制方案，請提供工藝參數（目標真空度、氣體類型、抽速需求），我們將為您匹配泵組配置！
