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性能參數
指標 |
普旭油式真空泵 |
傳統單級油式泵 |
抽至10mbar耗時 |
≤10秒 |
30~45秒 |
極限真空度 |
2×10?2 mbar |
5×10?2 mbar |
耐溫范圍 |
-10℃~80℃ |
0℃~60℃ |
樹脂殘留清潔周期 |
3000小時 |
500小時 |
普旭油式真空泵以10秒極速抽真空為核心突破,攻克了半導體封裝工藝中氣泡殘留導致的可靠性難題。其耐污染設計與智能溫控系統,不僅適配高節拍量產需求,更通過減少維護停機與材料損耗,顯著降低綜合成本。隨著先進封裝技術(如Chiplet、2.5D/3D封裝)的普及,普旭真空泵將成為封測企業提升市場競爭力的關鍵設備。