半導(dǎo)體設(shè)備頻繁停機？普旭真空泵20000小時無故障運行實錄

產(chǎn)品價格：	23999/人民幣
最后更新：	2025-04-08 10:18:48
產(chǎn)品產(chǎn)地：	廣東東莞市
發(fā)貨地：	廣東東莞市 (發(fā)貨期：當(dāng)天內(nèi)發(fā)貨)
供應(yīng)數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
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公司基本資料信息

東莞市飛粵真空科技有限公司
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產(chǎn)品詳細說明

半導(dǎo)體設(shè)備頻繁停機？普旭真空泵20000小時無故障運行實錄

應(yīng)用場景
在半導(dǎo)體制造的核心環(huán)節(jié)（如晶圓蝕刻、離子注入、化學(xué)機械拋光（CMP））中，真空泵需24小時連續(xù)運轉(zhuǎn)以維持工藝腔室的穩(wěn)定真空環(huán)境。傳統(tǒng)真空泵因腐蝕性氣體侵蝕、高溫油品劣化等問題，常導(dǎo)致突發(fā)性停機，引發(fā)設(shè)備宕機、晶圓報廢、產(chǎn)能損失等連鎖問題，嚴重時單次停機損失高達數(shù)十萬元。
產(chǎn)品特點
1. 全密封抗腐蝕設(shè)計
- IP55防護等級：軸承與電機采用全密封結(jié)構(gòu)，抵御酸性/堿性工藝氣體（如Cl?、CF?）腐蝕，壽命提升3倍。
- 特種合金轉(zhuǎn)子：表面碳化鎢涂層，硬度達HV1500，抗顆粒磨損性能提升80%。
2. 智能預(yù)維護系統(tǒng)
- 多參數(shù)實時監(jiān)測：內(nèi)置傳感器實時采集油溫（±1℃精度）、振動（0.1mm/s分辨率）、油位數(shù)據(jù)，異常狀態(tài)提前48小時預(yù)警。
- 云端遠程診斷**：通過IoT模塊上傳運行數(shù)據(jù)至普旭運維平臺，自動生成維護建議，減少人工巡檢成本。

性能參數(shù)

指標(biāo)	普旭油式真空泵	行業(yè)常規(guī)泵
MTBF（平均無故障時間）	≥20000小時	5000~8000小時
維護周期	6000小時/次	2000小時/次
振動值	＜2.8mm/s（ISO 10816-3）	＞5.0mm/s
耐腐蝕氣體濃度	≤1000ppm Cl?	≤300ppm Cl?

核心優(yōu)勢
? 連續(xù)運行保障：某12英寸晶圓廠替換普旭泵后，年停機時間從120小時降至18小時，產(chǎn)能損失減少85%。
? 運維成本優(yōu)化：潤滑油更換頻率從每月1次延長至每季度1次，年維護成本節(jié)省超￥50萬元。
? 工藝穩(wěn)定性提升：真空壓力波動控制在±0.3%以內(nèi)，晶圓關(guān)鍵尺寸（CD）均勻性提升0.5nm。

普旭油式真空泵通過全密封抗腐蝕設(shè)計與智能化預(yù)維護系統(tǒng)，徹底解決半導(dǎo)體制造中真空泵頻繁停機的行業(yè)難題，實現(xiàn)20000小時無故障運行的行業(yè)標(biāo)桿性能。其高可靠性不僅保障了晶圓廠連續(xù)生產(chǎn)需求，更通過降低維護成本與工藝缺陷率，助力企業(yè)提升產(chǎn)能利用率與產(chǎn)品良率，成為高端半導(dǎo)體制造的真空系統(tǒng)。

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