高溫爐真空系統(tǒng) 快速脫氧除雜方案 | 極限真空10?? mbar | 支持氬氣保護工藝
應用場景：為高溫工業(yè)爐工藝賦能
普旭（Busch）單級油式真空泵專為工業(yè)爐高溫精密工藝設計，適配以下核心場景：
?金屬熱處理：真空退火、淬火工藝，快速脫氧除雜，消除材料氧化缺陷。
?陶瓷/碳素燒結：高溫爐內雜質氣體抽排，提升材料致密性與純度。
? 半導體材料制備：硅晶圓、靶材燒結，支持氬氣/氮氣保護氣氛控制。
?粉末冶金：金屬粉末成型燒結，避免微孔殘留氣體，保障成品強度。
核心特點：極限真空+工藝適配
1. 極限真空性能
- 超高真空度：單泵極限真空可達10?? mbar，滿足嚴苛工藝氣體環(huán)境需求。
- 快速抽氣能力：30分鐘內從常壓抽至10?3 mbar級，縮短爐內預處理周期50%+。
2. 高溫氣體適配性
- 耐高溫設計：
? 泵體采用耐熱合金+水冷夾套，耐受爐口高溫輻射（≤150℃）；
? 專用高溫真空油，長期運行無碳化風險。
- 氬氣/氮氣兼容：優(yōu)化氣體回收系統(tǒng)，惰性氣體循環(huán)利用率＞85%，降低工藝成本。
3. 智能工藝集成
- 多模式控制：
? 真空度-溫度聯動調節(jié)，適配階梯式升溫工藝；
? 可選配PLC/SCADA接口，無縫接入工業(yè)爐自動化產線。
- 雜質過濾系統(tǒng)：
? 前置旋風分離+后端分子篩吸附，攔截99%粉塵與揮發(fā)物；
? 自動反吹清潔功能，減少人工維護頻率。
性能優(yōu)勢對比
傳統(tǒng)系統(tǒng)痛點
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普旭解決方案
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用戶收益
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真空度不足導致材料氧化
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極限真空10?? mbar，氧含量＜5 ppm
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產品合格率提升至99%+
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高溫工況泵體壽命短
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耐熱合金+水冷設計，MTBF≥20,000小時
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設備綜合壽命延長60%
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惰性氣體消耗成本高
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氬氣回收系統(tǒng)，氣體補充量減少70%
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年工藝成本降低45萬+
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粉塵堆積引發(fā)故障
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三級過濾+自動反吹，停機率下降90%
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維護成本減少50%
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行業(yè)適配案例
- 特種合金熱處理：鈦合金真空退火，表面氧化層厚度減少80%。
-碳化硅陶瓷燒結：爐內雜質氣體抽排效率提升3倍，產品密度達理論值98%。
- 半導體靶材制備：氬氣保護下高純度鉬靶材燒結，氧含量控制在10 ppm以下。
- 磁性材料生產：釹鐵硼真空燒結，磁能積（BH）max提升15%。
普旭單級油式真空泵以 “極限真空+高溫適配” 重新定義工業(yè)爐工藝標準：
- 精密可控：10?? mbar級真空環(huán)境，徹底消除氧化與雜質干擾；
- 高效節(jié)能：氬氣循環(huán)利用+智能抽氣策略，綜合能耗降低30%；
- 可靠耐用：耐高溫設計+自清潔系統(tǒng)，保障連續(xù)生產零故障。
