【光學鍍膜真空泵】膜厚均勻性±1nm | 分子泵+干泵機組 | 支持氦質譜檢漏
普旭油式真空泵在光學鍍膜與廣電機械行業的技術賦能 高潔凈真空環境
行業核心需求與挑戰
1. 光學鍍膜領域
- 需求：
? 極限真空度 ≤5×10?? Pa（磁控濺射/PVD鍍膜）
? 油蒸汽返流率＜5×10?? mg/cm2·min（防止膜層污染）
- 痛點：
? 傳統擴散泵存在油污染風險
? 分子泵維護成本高昂（年均￥8-12萬）
2. 廣電機械領域
- 需求：
? 連續運行穩定性（7×24小時廣電設備生產）
? 快速抽氣能力（腔體容積1-5m3需15分鐘內達標）
- 痛點：
? 油霧排放影響潔凈車間評級
? 突發停機導致鍍膜良率下降30%+
普旭RVX系列油式真空泵技術亮點
1. 超潔凈真空環境保障
- 五級油霧捕集系統：
- 集成機械離心+低溫冷凝+活性炭吸附技術
- 油蒸汽返流率 ＜2×10?? mg/cm2·min**（優于ISO8573-1 Class 0標準）
- 全金屬密封設計：
- 采用氟橡膠+不銹鋼復合密封圈，漏率＜1×10?1? Pa·m3/s
2. 精密工藝適配性
- 智能真空梯度控制：
- 配備PID調節閥，真空度波動范圍±0.5%（常規系統±3%）
- 多級抽速切換：
- 50-1000m3/h無級調速，適應鍍膜不同階段（預抽/維持/冷卻）
3. 工業級可靠性設計
- 耐腐蝕強化：
- 泵體鍍鎳處理+專用抗氧化真空油（酸氣耐受pH2-12）
- 智能預警系統：
- 實時監測油溫（精度±1℃）、振動（＜2.8mm/s）、顆粒物濃度
與競品的關鍵性能對比
指標
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某進口分子泵
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普旭RVX油式泵
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極限真空度
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1×10?? Pa
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5×10?? Pa
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購置成本
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￥48萬起
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￥18-25萬
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年維護費用
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￥9.6萬
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￥2.8萬
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啟動到工作真空時間
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45分鐘（需預熱）
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＜8分鐘
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典型應用案例
案例1：光學鏡頭鍍膜生產線升級
- 客戶：華南某光學器件上市公司
- 方案：
- 采用RVX630D+羅茨泵組（三級串聯）
- 加裝油蒸汽低溫捕集器
- 成效：
? 膜層瑕疵率從0.7%降至 0.12%
? 鍍膜周期縮短 22%（單日產能提升至3800片）
? 潔凈室等級維持 Class 1000 標準
案例2：廣電真空干燥設備改造
- 客戶：華東廣電設備制造商
- 方案：
- 替換原有3臺水環泵為RVX200D×2（一用一備）
- 成效：
? 干燥效率提升 40%（單批次耗時從4h→2.4h）
? 年度電費節省￥17.3萬
? 設備無故障運行突破 12,000小時
技術優勢
? 經濟性：綜合成本較分子泵降低60%，回報周期＜14個月
? 潔凈度：油蒸汽控制達半導體級標準，保障鍍膜良率
? 智能化：支持Modbus/TCP協議，無縫接入工業4.0控制系統
? 可靠性：MTBF（平均無故障時間）突破30,000小時
