二手光弛1550真空電鍍膜機(jī) 濺射鍍膜機(jī) (年份:2015. 11）包上門安裝培訓(xùn)

OTFC- 1550光馳機(jī)(年份:2015. 11）包上門安裝培訓(xùn)，公司還有各種先進(jìn)濺射和蒸鍍機(jī)，承接各種高性能中長波紅外光學(xué)窗口、各波段濾光片、各種光電子元器件產(chǎn)品以及定制化服務(wù)

真空室：SUS304,Ф1550*1800MM

工件架：Ф1400

工件架轉(zhuǎn)速：10rpm to 30rpm (可變)

光學(xué)膜厚控制：HOM2- -R -VIS350A

光學(xué)膜厚監(jiān)控儀：波長范圍: 350nm to 1100nm |反射式/透射式

水晶式膜厚計(jì)：XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器

蒸發(fā)源：2套日本電子16P雙槍

離子源：17寸光馳RF離子源

排氣系統(tǒng)：機(jī)械泵2個(gè)，擴(kuò)散泵Polycold (或2個(gè)冷凝泵)275機(jī)械泵+愛德華配套羅茨泵  

性能 

達(dá)到壓力：7. 0X10-5Pa以下

排氣時(shí)間：20分(大氣壓~1. 3X 10-3Pa)

基板溫度：高: 350C

工作條件

設(shè)備尺寸：藥500m00) x 7200m(D)X53700mm

電源：3相, 200v, 50/ 60Hz,約120KVA

水流量：180升/分以上

空氣壓力：0.5MPa以上

重量：約11000kg

詳情 楊總監(jiān)  13723521401  18103045976