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測(cè)試標(biāo)準(zhǔn):
系統(tǒng)名稱 |
PAr |
GN2 |
PO2 |
PN2 |
保壓標(biāo)準(zhǔn) |
24h≦1% |
24h≦1% |
24h≦1% |
24h≦1% |
氦檢標(biāo)準(zhǔn) |
≦1*10-9 atm. cc/sec |
≦1*10-6atm. cc/sec |
≦1*10-9 atm. cc/sec |
≦1*10-9 atm. cc/sec |
水分 |
H2O≦10ppb |
H2O≦10ppb |
H2O≦10ppb |
H2O≦10ppb |
氧分 |
O2≦10ppb |
O2≦10ppb |
/ |
O2≦10ppb |
顆粒 |
≦1pcs/scf≦0.1μ m( |
≦1pcs/scf≦0.1μ m( |
≦1pcs/scf≦0.1μ m( |
≦1pcs/scf≦0.1μ m( |