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三氯氫硅在常溫常壓下為具有刺激性惡臭易流動(dòng)易揮發(fā)的無(wú)色透明液體。在空氣中極易燃燒,在-18℃以下也有著火的危險(xiǎn),遇明火則強(qiáng)烈燃燒,燃燒時(shí)發(fā)出紅色火焰和白色煙;三氯氫硅的蒸氣能與空氣形成濃度范圍很寬的性混合氣,受熱時(shí)引起猛烈的。它的熱穩(wěn)定性比二氯硅烷好,在900℃時(shí)分解產(chǎn)生氯化物有毒煙霧;遇潮氣時(shí)發(fā)煙,與水激烈反應(yīng);在堿液中分解放出氫氣;與氧化性物質(zhì)接觸時(shí)產(chǎn)生性反應(yīng)。與乙炔、烴等碳?xì)浠衔锓磻?yīng)產(chǎn)生有機(jī)氯硅烷;在氫化鋁鋰、氫化硼鋰存在條件下,SiHCl3可被還原為硅烷。容器中的液態(tài)SiHCl3當(dāng)容器受到強(qiáng)烈撞擊時(shí)會(huì)著火??扇芙庥诒?、醚等。無(wú)水狀態(tài)下三氯硅烷對(duì)鐵和不銹鋼不腐蝕,但是在有水分存在時(shí)腐蝕大部分金屬。