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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | 光弛 | ||
| 電壓 | 50 | ||
| 功率 | 50 | ||
| 重量 | 約10000kg | ||
| 真空室 | 1500 | ||
| 離子源 | 17cmRF | ||
| 膜厚控制 | HOM2-R-VIS350A | ||
| 波長范圍 | 350nm to 1100nm | ||
| 達到壓力 | 7.0×10-5?Pa 以下 | ||
| 排氣時間 | 15分 | ||
| 基板溫度 | 350℃ | ||
| 電流量 | 180升/分以上 | ||
| 空氣壓力 | 0.5MPa | ||
| 尺寸 | 約5500mm(W)×7200mm(D)×3700mm(H) | ||
| 機械泵 | 2個 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
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