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| 產品參數 | |||
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| 品牌 | 聯合 | ||
| 是否支持加工定制 | 否 | ||
| 是否進口 | 否 | ||
| 電壓 | 220 | ||
| 功率 | 20 | ||
| 外形尺寸 | 2300*2800*3300 | ||
| 重量 | 8噸 | ||
| 工件傘尺寸 | 2000 | ||
| 真空室 | 1900 | ||
| 電子槍 | 2把 | ||
| 離子源 | 韓國12 | ||
| 精度 | 0. | ||
| 深冷 | 三星POLYCOLD | ||
| 機械泵 | 275 | ||
| 羅次泵 | 愛德華2600V | ||
| 阻蒸 | 2個 | ||
| 晶控儀 | IC5晶控儀 | ||
| 可售賣地 | 全國 | ||
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