產生和初步發展階段：1958年-1970年。工業機器人領域的**件專利由喬治·德沃爾在1958年申請，名為可編程的操作裝置。約瑟夫·恩格爾伯格對此專利很感興趣，聯合德沃爾在1959年共同制造了世界上**臺工業機器人，稱之為Robot，其含義是“人手把著機械手，把應當完成的任務做一遍，機器人再按照事先教給它們的程序進行重復工作”，并主要用于工業生產的鑄造、鍛造、沖壓、焊接等生產領域，特稱為工業機器人。
技術快速進步與商業化規模運用階段：1970年—1984年。這一時期的技術相較于此前有很大進步，工業機器人開始具有一定的感知功能和自適應能力的離線編程，可以根據作業對象的狀況改變作業內容。伴隨著技術的快速進步發展，這一時期的工業機器人還突出表現為商業化運用迅猛發展的特點，工業機器人的“四大家族”——庫卡、ABB、安川、FANUC公司分別在1974年、1976年、1978年和1979年開始了全球專利的布局。
智能機器人階段：1985年至今。智能機器人帶有多種傳感器，可以將傳感器得到的信息進行融合，有效地適應變化的環境，因而具有很強的自適應能力、學習能力和自治功能。在2000年以后，美國、日本等國都開始了智能軍用機器人研究，并在2002年由美國波士頓公司和日本公司共同申請了**件“機械狗”（Boston Dynamics Big Dog）智能軍用機器人專利，2004年在美國政府DARPA/SPAWAR計劃支持下申請了智能軍用機器人專利。