S51系列壓電偏擺\/升降臺中心通孔的三維θxθy及Z軸運(yùn)動
芯明天環(huán)形高壓壓電疊堆陶瓷PZT共燒型出力大、靜電容量低
壓電陶瓷剪切片厚度僅0.5mm諧振頻率達(dá)1750kHz
芯明天N31系列直線壓電馬達(dá)壓電位移臺馬達(dá)平臺
芯明天P84P83壓電千分尺微動運(yùn)動平臺宏微復(fù)合臺
芯明天點膠閥專用壓電陶瓷E52控制器PZT可定制
P77系列壓電式移相器直驅(qū)機(jī)構(gòu)式納米定位臺行程范圍0~32μm
環(huán)形壓電陶瓷片\/堆棧疊堆2mm厚度單片位移可達(dá)3.3μm
芯明天P12A.XY200Z100壓電掃描臺位移臺平移臺
芯明天E81.A1K大功率壓電陶瓷控制器驅(qū)動電源
芯明天E71系列壓電馬達(dá)控制器三或四通道輸出
機(jī)構(gòu)放大式壓電促動器行程30μm至2mm可選出力可高達(dá)540N
芯明天P34系列壓電偏轉(zhuǎn)鏡快返鏡偏轉(zhuǎn)范圍可達(dá)5mrad
芯明天壓電陶瓷管掃描器\/掃描儀PZT材料定制
柱形高壓壓電疊堆陶瓷PZT標(biāo)準(zhǔn)驅(qū)動電壓為0~500V、0~1000V
方形片狀壓電陶瓷片\/堆棧單片位移可達(dá)3.3μm
S20系列壓電旋轉(zhuǎn)臺,旋轉(zhuǎn)角度達(dá)0.5mrad中心通孔孔徑20mm
P66.X30S\/K壓電納米定位臺一維行程達(dá)38μm承載力達(dá)100g
芯明天壓電陶瓷剪切片疊堆一至三維XYZ運(yùn)動單軸位移可達(dá)9μm
芯明天P60.X250系列壓電納米定位臺平移臺\/運(yùn)動臺\/位移臺