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| 產(chǎn)品參數(shù) | |||
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| S51 系列壓電偏擺 / 升降臺(tái) 中心通孔的三維 θxθy 及 Z 軸運(yùn)動(dòng) 品牌 | 兀 芯明天 COREMORROW | ||
| 重量 | 820g | ||
| 加工定制 | 是 | ||
| 數(shù)量 | 1000 | ||
| 名稱 | S51系列壓電偏擺/升降臺(tái) | ||
| 詳細(xì)信息 | 請(qǐng)咨詢銷售工程師 | ||
| 運(yùn)動(dòng)自由度 | θx、θy、Z | ||
| 閉/開環(huán)Z向位移分辨率 | 7nm/4nm | ||
| 推/拉力 | 120N/15N | ||
| 空載諧振頻率 | 340Hz | ||
| 靜電容量 | 5.4μF | ||
| 直線行程范圍 (0~150V) | 100 μm | ||
| 傳感器類型 | SGS/- | ||
| 閉 / 開環(huán) Z 向位移分辨率 | 7/4 nm | ||
| 可售賣地 | 全國(guó) | ||
| 材質(zhì) | 鋁、鋼 | ||
S51 系列是具有中心通孔的三維 θxθy 及 Z 軸運(yùn)動(dòng)的壓電偏擺臺(tái)，采用無摩擦柔性鉸鏈結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，響應(yīng)速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大通孔使其易于集成在顯微及掃描等光學(xué)系統(tǒng)中。
? θx、θy 偏擺運(yùn)動(dòng)，Z 向升降 ? 閉環(huán)定位精度高 ? 響應(yīng)速度快 ? 透光孔：80×80mm?
