T116N81K13系列壓電鏡架可進行反射鏡片的二維θx、θy偏轉運動調節
芯明天P35A系列壓電偏轉鏡大角度偏轉達43mrad
芯明天XD011-B機構放大促動器外形緊湊、行程達6.2μm
芯明天P91.X20K系列快速刀具定位臺為超精密車削設計的微進給平臺
芯明天高壓壓電控制器E80.D4S輸出電壓0~800V驅動器驅動電源
XE-650系列壓電陶瓷控制器小體積、單通道驅動電源
XD502系列壓電偏擺臺閉環線性度透光孔55×55mm^2
XD605.X90壓電納米定位臺承載達5kg一維運動
ZT50N81K8壓電螺釘調平臺三軸調平電動操作更靈活
芯明天E81.C6K-H壓電陶瓷控制器放大器驅動電源
芯明天壓電鏡架N71.T4K-B二維偏轉運動型調節架調節角度可達±2°
XD106系列低溫真空無磁壓電掃描臺位移臺平移臺
S54.T0S\/K-B系列壓電偏擺臺二維偏擺運動開閉環版本承載達0.1kg
E80.B1S-H系列壓電控制器單通道閉環版本-20V至150V
XD107系列壓電掃描臺三維運動行程可達100μm位移臺
XD780系列壓電納米定位臺可實現一維X向運動,有50μm、150μm和200μm可選
芯明天工業式壓電陶瓷控制器E53.B1S-K定制工業接口
電容式CAP測微儀非接觸式測量0~200μm范圍內的微小位移
VS6系列低壓柱形壓電促動器快速響應高精度高可靠性
VH13系列金屬密封壓電促動器一維Z向位移有42μm、46μm兩種行程