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產品參數 | |||
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尺寸 | 125*125*34.5mm | ||
厚度 | 34.5mm | ||
長度 | 125mm | ||
重量 | 1360 g | ||
分辨率 | 2 nm | ||
是否進口 | 否 | ||
加工定制 | 是 | ||
運動自由度 | X、Y、Z | ||
標稱行程范圍 | XY200,Z100 μm | ||
低溫行程范圍 | XY80,Z50 μm | ||
空載諧振頻率 | X180/Y180/Z250 Hz | ||
帶載 200g 諧振頻率 | X140/Y140/Z200 Hz | ||
靜電容量 | XY3.6,Z7.2 μF | ||
承載能力 | 700 g | ||
特點 | 真空低溫無磁 | ||
可售賣地 | 全國 | ||
用途 | 半導體加工 | ||
材質 | 鈦 | ||
型號 | XD106 |