MKS流量控制器(如 GM50A型號)主要功能為精確控制氣體流量，通過調(diào)節(jié)閥門開度實現(xiàn)流量穩(wěn)定控制，廣泛應(yīng)用于工業(yè)氣體輸送系統(tǒng)。以下是其核心功能與作用:
流量精確控制
采用數(shù)字控制算法和熱式傳感器，可實現(xiàn)500毫秒快速響應(yīng)設(shè)定點變化，精度達(dá)1%校準(zhǔn)氣體設(shè)定點。支持模擬/數(shù)字IO接口，兼容多種通信協(xié)議(如EtherCAT⑧、PROFINET等)，適用于從5 SCCM至50,000 SCCM的寬流量范圍。
金屬密封設(shè)計
采用金屬密封結(jié)構(gòu)，有效避免傳統(tǒng)密封材料(如橡膠)因高溫或腐蝕性氣體導(dǎo)致的性能衰減問題，延長使用壽命并保障氣體純度。
動態(tài)流量調(diào)節(jié)
支持低至5%滿量程流量的比率控制，通過控制算法優(yōu)化設(shè)定點響應(yīng)速度，減少流量波動對工藝環(huán)境的影響。
工業(yè)兼容性
適用于半導(dǎo)體制造、航空航天、光電子、化工等領(lǐng)域，可與壓力傳感器、控制器組成閉環(huán)控制系統(tǒng)，實現(xiàn)全程監(jiān)控與調(diào)節(jié)。
高溫適應(yīng)能力
部分型號支持150°C高溫工作環(huán)境，擴(kuò)展了工業(yè)應(yīng)用場景的適用范圍。
