多年籌備后,湖北鼎龍控股股份有限公司(下稱“鼎龍股份”,300054)的CMP拋光墊產(chǎn)品具備量產(chǎn)條件。
12月20日,鼎龍股份公告稱,公司全資子公司湖北鼎匯微電子材料有限公司(下稱“鼎匯微電子”)的一款拋光墊產(chǎn)品通過客戶驗證,并進入客戶供應商體系。這意味著,國內(nèi)自主研發(fā)的CMP拋光墊初步接受了市場驗證,此舉有望打破外資對CMP拋光墊壟斷格局。
籌謀5年布局
鼎龍股份是國內(nèi)打印通用耗材龍頭企業(yè),并成為國內(nèi)最大硒鼓供應商和彩色聚合碳粉的國內(nèi)唯一供應商。此前業(yè)務中,鼎龍股份涉足功能化學品、打印快印通用耗材、集成電路及材料、數(shù)字圖文快印和云打印業(yè)務領(lǐng)域。
但打印耗材產(chǎn)業(yè)存在天花板,在國內(nèi)市場占比到一定程度后,鼎龍股份尋求在新領(lǐng)域的突破。2013年起,鼎龍股份立項推進CMP材料的研究開發(fā),開始涉足半導體耗材領(lǐng)域。
CMP技術(shù)即化學機械拋光,是目前效果最好、應用最廣泛的平坦化技術(shù)。其使用范圍最廣的為集成電路產(chǎn)品,后者的制造是在單晶硅襯底上進行一系列物理和化學加工過程,其從熔煉原料導形成成品的總過程大概需要400多道工序,其中需要多次使用CMP技術(shù)。
CMP技術(shù)應用的拋光液、拋光墊、拋光漿料是硅晶圓及芯片進行工業(yè)處理的三大消耗品,其中拋光工藝價值核心均在拋光墊,是晶圓制造環(huán)節(jié)的關(guān)鍵耗材。數(shù)據(jù)顯示,CMP材料在半導體材料中整體占比7%,在CMP材料中,拋光墊價值量占比約達60%。
看好這一項目后,2014年,鼎龍股份建立專項實驗室,并組建了具有海外專家背景的專業(yè)研發(fā)團隊,推動拋光墊產(chǎn)品研發(fā)。與此同時,國內(nèi)其他同行也開始尋求CMP拋光材料的國產(chǎn)化路徑。
經(jīng)過一年研發(fā),2015年3月,鼎龍股份斥資1億元建設CMP拋光墊產(chǎn)業(yè)化項目一期工程。2016年5月,公司再度募集資金投入集成電路芯片(IC)拋光工藝材料的產(chǎn)業(yè)化二期,兩項目達產(chǎn)后將形成產(chǎn)能50萬片。上述項目若順利達產(chǎn),鼎龍股份將成為國內(nèi)少數(shù)能用國產(chǎn)技術(shù)實現(xiàn)CMP拋光材料生產(chǎn)的企業(yè)之一。
“2016年8月,公司產(chǎn)業(yè)化一期已進行了產(chǎn)品試生產(chǎn)?!倍埞煞莘矫嫱嘎断⒈硎?,今年,公司已啟動國內(nèi)CMP拋光墊客戶的送樣及驗證、評價工作,正在進行客戶應用驗證。目前,第一款產(chǎn)品已通過客戶驗證,進入后者的供應商系列。后續(xù),還將繼續(xù)進行其他客戶驗證、評價以及市場營銷。公司方面明確,包括耗材芯片和CMP在內(nèi)的集成電路設計及材料、數(shù)字圖文快印和云打印業(yè)務被列為公司重點發(fā)展方向。
國產(chǎn)化之路
這被視為中國CMP拋光墊產(chǎn)業(yè)的突破性進展。
中國集成電路材料和零部件產(chǎn)業(yè),面臨著大部分依賴進口產(chǎn)品的局面。東方證券電子行業(yè)蒯劍團隊的一份最新研報指出,目前全球拋光墊市場呈寡頭壟斷格局,根據(jù)2016年數(shù)據(jù),陶氏公司占據(jù)79%的市場份額,Cabot、Thomas West、富士紡、日本JSR等公司在市場上也占一定份額。但中國企業(yè)起步較晚,與國際先進水平仍有較大差距,國內(nèi)雖有少數(shù)外商投資企業(yè)少量生產(chǎn)中低端產(chǎn)品,但缺乏獨立自主知識產(chǎn)權(quán)和品牌,龐大的國內(nèi)市場完全被外資壟斷。
但中國市場需求十分龐大。蒯劍團隊透露,未來4年里,全球?qū)⑿陆?2座晶圓廠,中國大陸地區(qū)占26座,建廠潮將拉動CMP拋光墊需求。
從國家戰(zhàn)略上來說,集成電路產(chǎn)業(yè)被視為當下最受重視的產(chǎn)業(yè)之一,鼓勵中國企業(yè)將相關(guān)產(chǎn)品、耗材和零部件逐步國產(chǎn)化。
拋光墊領(lǐng)域也是如此,隨著中國半導體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化戰(zhàn)略的不斷推進,集成電路特征尺寸在逐步減小,而布線層數(shù)則不斷增加,這對集成電路產(chǎn)品平坦化的要求也更高,更加凸顯CMP技術(shù)的重要性。
市場需求還在放大。美國半導體產(chǎn)業(yè)協(xié)會(SIA)公布的數(shù)據(jù)顯示,截至2017年8月,全球半導體銷售額總額達到349.6億美元,同比增長23.9%,環(huán)比增加4.0%。全球半導體銷售額數(shù)據(jù)已連續(xù)13個月同比增長,連續(xù)6個月環(huán)比增長,創(chuàng)歷史新高。
蒯劍團隊指出,因為存儲與晶圓代工廠商投入先進制程拉動設備出貨,以及晶圓廠建設拉動設備投資等因素的刺激,當前晶圓代工環(huán)節(jié)已進入高景氣度周期。而國產(chǎn)材料具有明顯的價格和服務優(yōu)勢,有助于中國半導體產(chǎn)業(yè)國產(chǎn)化,近年來我國拋光墊專利申請數(shù)量也逐漸增多。
不過,要真正打破寡頭格局的要點是國產(chǎn)化產(chǎn)品的質(zhì)量。位于湖北光谷一半導體企業(yè)負責人表示,陶氏化學等公司耕耘多年,技術(shù)產(chǎn)品經(jīng)過多代更新已十分成熟,中國企業(yè)剛起步,最終在市場上的品質(zhì)將決定著市場的接受程度。
