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質量流量控制器
SEC-E40 系列
(制造單位：HORIBA STEC有限公司)
適用于從微小流量到大流量控制的低成本型號
概要
· 適用于廣泛范圍的流量控制：在同一系列中，適于從0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
· 適用于廣泛的用途：在普通產業市場中，擁有眾多的銷售業績，引以為豪。
· 低成本：產品陣容中有力求具有成本優勢的型號： SEC-E40MK3/E50MK3
技術規格
型號 |
SEC- (質量流量控制器) |
E40/E40MK3 |
E50/E50MK3 |
SEF- (質量流量計) |
E40 |
E50 |
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適用氣體種類*1 |
非腐蝕性氣體(MK3型號適用于N2、O2、空氣、H2、Ar、He) |
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氣體接觸部材質 |
SUS316L.氟化橡膠.PTFE、磁性不銹鋼 |
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閥門型號 |
非通電時 關閉 |
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標準流量量程 (N2相應F.S.) |
20/30 SLM |
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