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| X/Y/Z軸)量測行程(mm) | 150*100*175 | 200*100*175 | 250*150*175 | 300*200*175 | 400*300*175 | 500*300*175 | |
| 外形尺寸 | 540x560x850 | 540x560x850 | 760x600x900 | 760x600x900 | 970x670x940 | 970x770x940 | |
| 機臺底座材料 | 高精度花崗石 | ||||||
| 照明系統 | 表面光源與透射光源均用LED，亮度可調 | ||||||
| CCD | 高解析度日本索尼彩色CCD | ||||||
| X,Y軸量測精度 | （3+L/200）um | ||||||
| 放大倍率 | Step Zoom光學放大率：0.7--4.5X，影像放大率：28--180X | ||||||
| 光學尺解析度 | 1 um | ||||||
| 重復性 | 2 um | ||||||
| 操作方式 | 手動 | ||||||
| 電源供給 | 110V/220V | ||||||
| 合適溫度，濕度 | 溫度：19°--24°，濕度：45%--75% | ||||||
| 保修期 | 一年 | ||||||
