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等離子刻蝕機
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產品價格： 10/人民幣 
最后更新： 2012-10-25 11:41:38
產品產地：
發貨地： 廣東東莞 (發貨期：當天內發貨)
供應數量： 不限
有效期： 長期有效
最少起訂： 1
瀏覽次數： 511
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  • 公司基本資料信息
    • 東莞市啟天自動化設備有限公司
    • 寧先生先生 市場專員
    • 會員[試用會員產品]
    • 郵件844827568@qq.com
    • 手機13925815657
    • 電話
    • 傳真
    • 地址廣東省東莞市樟木頭樟洋工業區富竹二街八號
    • 進入商鋪
     
    產品詳細說明
     等離子體刻蝕設備應用于刻蝕硅片邊沿的硅磷層，擴散過程中，不但硅片的表面擴散上了磷，硅片邊緣也擴散上了磷，這會導致硅片正反兩極通過邊緣導通短路。所以必須將硅片邊緣這層被擴散上的硅磷去掉，大概去除1到3個微米。硅片在刻蝕機內水平旋轉，通入的反應氣體為四氟化碳、氧、和氮氣。其原理是在放電狀態下反應氣體四氟化碳、氧氣和硅片邊緣的硅化合物發生反應生成硅，反應形成粉未和氣態物質后隨氣流一起被抽走等。

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