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規格 |
測量面對基面的垂直度 |
測量面平面度或直線度 |
基面平面度或直線度 |
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精度等級μm |
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1 |
2 |
3 |
1
|
2 |
3 |
1 |
2 |
3 |
|
200×200 |
8 |
16 |
30 |
4 |
8 |
16 |
6 |
12 |
24 |
300×200 |
10 |
20 |
40 |
5 |
10 |
20 |
8 |
16 |
30 |
300×300 |
10 |
20 |
40 |
5 |
10 |
20 |
8 |
16 |
30 |
400×300 |
12 |
24 |
45 |
6 |
12 |
24 |
10 |
20 |
40 |
400×400 |
12 |
24 |
45 |
6 |
12 |
24 |
10 |
20 |
40 |
500×400 |
14 |
28 |
50 |
7 |
14 |
28 |
12 |
24 |
48 |
500×500 |
14 |
28 |
50 |
7 |
14 |
28 |
12 |
24 |
48 |
800×600 |
18 |
35 |
60 |
9 |
18 |
35 |
14 |
28 |
55 |
1000×800 |
25 |
50 |
70 |
12 |
24 |
45 |
18 |
35 |
70 |
