CVD爐（碳化硅膜）氣相沉積爐北京CVD爐

產(chǎn)品價格：	面議/人民幣
最后更新：	2012-10-30 08:26:38
產(chǎn)品產(chǎn)地：	北京
發(fā)貨地：	北京 (發(fā)貨期：當天內(nèi)發(fā)貨)
供應數(shù)量：	不限
有效期：	長期有效
最少起訂：	1
瀏覽次數(shù)：	1530

公司基本資料信息

西尼特（北京）電爐有限公司
龐通先生經(jīng)理
會員[試用會員產(chǎn)品]
郵件cntdl@sina.com
手機18610138965
電話
傳真
地址北京市朝陽區(qū)五里橋二街1號院

產(chǎn)品詳細說明

※產(chǎn)品描述：

CNT公司生產(chǎn)的CVD設(shè)備主要由全真空專用不銹鋼腔體，分子泵高真空系統(tǒng)，電源，生長機體載體及溫控系統(tǒng)，獨立排氣和生長壓力調(diào)節(jié)系統(tǒng)，冷卻循環(huán)水輔助設(shè)備等組成。整機結(jié)構(gòu)緊湊、操作方便、抽真空速度快。此設(shè)備控制系統(tǒng)采用邏輯按鈕手動控制與工控機自控控制可選。實現(xiàn)真空抽氣和鍍膜工藝一體化功能。此設(shè)備可用于制作SiO2、Si3N4、非晶Si：H、多晶Si、SiC、W、Ti-Si、GaAs、GaSb等介電、半導體及金屬膜等。

※技術(shù)指標：

參數(shù) 名稱	單位	配置
沉積類型		碳化硅，氮化硅
電源		射頻電源，帶正向功率和反射功率計指示，帶匹配器
加熱系統(tǒng)		平板式雙反應室系統(tǒng)，帶加溫和勻氣系統(tǒng)
工作溫度	℃	1300~1800℃
基片臺尺寸	(φ×H)mm	1英寸、二英寸、三英寸、四英寸
基片臺轉(zhuǎn)速		轉(zhuǎn)速0-20RPM
控溫精度	℃	±1
極限真空	pa	6.67.0×10-5
密封系統(tǒng)		磁流體密封
水冷、氣路系統(tǒng)		冷卻水循環(huán)機、無噪聲氣泵
報警及保護		對缺水、過流過壓、斷路等異常情況進行報警及相應保護措施
真空系統(tǒng) （選配）	真空系列	單級機械泵、擴散泵機組、分子泵
	工作腔體	不銹鋼
	氣氛系統(tǒng)	浮子流量計、進口、國產(chǎn)質(zhì)量流量計
	記錄裝置	進口、國產(chǎn)無紙記錄儀
備注：西尼特可根據(jù)閣下要求提供各種非標產(chǎn)品的設(shè)計制造，歡迎來函、來電咨詢！ 24小時熱線：400-668-6260 18610138965 Fax:010-51418223 cntdl@sina.com http://www.cimitdl.com

在線詢盤/留言 請仔細填寫準確及時的聯(lián)系到你!

您的姓名：	您的姓名沒有寫*	預計需求數(shù)量：	* 請輸入整數(shù) 請?zhí)顚憯?shù)量
聯(lián)系手機：	*請?zhí)顚懩愕氖謾C號碼	移動電話或傳真：
電子郵件：	*郵箱格式不正確請?zhí)顚懩愕碾娮余]件	所在單位：
咨詢內(nèi)容：	我想了解：《CVD爐（碳化硅膜）氣相沉積爐北京CVD爐》的詳細信息.請商家盡快與我聯(lián)系。 * 請?zhí)钕嚓P(guān)內(nèi)容

更多..本企業(yè)其它產(chǎn)品

CVD爐（碳化硅膜）氣相沉積爐

真空化學氣相沉積爐

PECVD 氣相沉積爐

離子氮化爐

CVD爐（碳化硅膜） 氣相沉積爐 北京CVD爐

CVD爐（碳化硅膜）氣相沉積爐北京CVD爐