· 測量范圍（XYZ）：450 x 450 x 150 mm

· 測量系統的尺寸（長/寬/高）約：132 x 102 x 170 cm，1300 kg

· XYZ軸光柵尺分辨率：0.5μm

· 馬達驅動：帶有操縱桿控制的DC伺服馬達（X，Y，Z，變焦）

· 工作臺：帶有夾具孔和可拆卸式平臺玻璃，其載重量為30kg。

· 變焦鏡：6.5：1，自動的

· 視頻系統：1/2"高分辨率彩色CCD，768 x 494像素陣列。

· 照明：LED輪廓燈，同軸TTL表面燈，可編程的8區/6環的VectorLight™白色LED燈 

· 影像處理：10：1次像素分辨率，256灰色級

· 電力需求：110/220 vac（手動開關），± 5%，50/60 Hz，1 ，700 W

· 額定環境：溫度為18-22°C ± 2°C/hr，濕度為30-80%（非凝固），振動>0.002g 且小于15 Hz

· 操作環境：安全運行：5-40°C

· 測量軟件：Measure-X™測量軟件

· 操作系統：Microsoft® Windows™ XP

· 保修期：1年