貼背研磨膠帶被用于在對晶圓的背面進行研削(貼背研磨)時,保護電路面以回避外界異物所造成的損傷,崩裂、裂紋(開裂)以及臟污等的污染。隨著晶圓的大口徑化、薄型化以及高凸塊設計的開發,對膠帶所要求的主要特點為:①低污染、②對晶圓的追從性、③容易剝離這些方面。UW-HT TAPE滿足這些要求事項,再加上由于它是非水溶性型,耐水環境,不需要進行清洗。
特征
●對電路面等凸凹的晶圓具有優良的粘附性
●防止塵埃的發生
●對背面進行研削時,對水環境具有超群的研削精度(TTV)
●具有優良的易剝離性
●抑制粘附力隨時間的變化