普通的壓阻式壓力傳感器其敏感控測惠斯頓電橋的四個力敏點阻是用集成電路工藝制造的，電阻間用PN結相互隔離。由于受到PN結耐溫限制，最高使用溫度僅125°C，而實際上由于PN結反向漏電流隨溫度的指數上升關系，在溫度超過100°C后，傳感器性能已大大劣化，這限制了普通壓阻傳感器的可用溫度范圍。利用厚薄膜技術制作力敏電阻，可將使用溫度擴展至125°C；利用多晶硅SOI技術制作力敏電阻，可將使用溫度擴展至150°C；利用傳統SOS技術和先

進的SOI技術可將使用溫度擴展至180°C—350°C；利用最新的β相高溫力敏材料碳化硅與SOI技術的結合，可將使用溫度擴展至450°C—850°C，本系列產品是利用德國HELM公司的國際先進傳感器，配合高精度電子元件，經嚴格的工藝過程裝配而成。

產品特點                                  產品用途

◇ 全不銹鋼外殼，卓越的抗腐蝕性能                ◇ 工業過程控制

◇ 壓力測量范圍寬                                ◇ 化工

◇ 溫度測量范圍寬，溫度誤差極小                  ◇ 水利

◇ 工作穩定   抗干擾能力強                       ◇ 發電工程

◇ 可靠性高，雙膜片結構                          ◇ 熱能工程

◇ 外形尺寸小，重量輕，類型齊全                  ◇ 石油勘探

◇ 反相極性過壓過流保護                          

◇ 測量介質范圍廣                                ◇ 國防科研

性能參數

測量范圍

0~10KPa...100MPa

過載能力

2倍滿量程壓力(其中100MPa的產品過壓為1.1倍滿量程壓力)

壓力類型

表壓或絕壓或密封參考壓力

測量介質

  與316不銹鋼兼容的氣體或液體

綜合精度

±0.25%FS

±0.5%FS

±1%FS

使用溫區

-40°C~+150°C

-40°C~+200°C

-55°C~+250°C

-25°C~+350°C

補償溫區

-20°C~+130°C

-20°C~+180°C

-20°C~+200°C

0°C~+250°C

長期穩定性

典型：±0.1%FS/年

最大：±0.2%FS/年
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