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型號
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VMU222
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VMU322
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VMU432
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VMU542
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行程(mm)
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200×200×200
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300×200×200
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400×300×200
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500×400×200
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外部尺寸(mm)
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1040×700×1620
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1040×700×1620
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1240×800×1620
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1440×900×1620
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重量(kg)
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150
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160
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200
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250
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承重(kg)
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25
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25
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25
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25
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測量精度
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XY軸*
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E2=(2.0+L/300)µm
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E2=(2.5+L/300)µm
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Z軸**
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E1=(5.0+L/200)µm
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速度
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XY軸
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200mm/S
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Z軸
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100mm/S
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光柵尺
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Renishaw光柵尺，0.4µm分辨率
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CCD
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SONY 1/2"CCD黑白/彩色
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光源
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輪廓光
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LED冷光源，256級亮度可調
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表面光
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6環8區LED冷光源，各段獨立操控，256級亮度可調
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同軸光
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LED冷光源，256級亮度可調
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光學系統***
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Navitar 6.5:1可變倍，放大倍率29～163或58～326
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軟件
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Vispec測量軟件（高端版）
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運動控制
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自主專利的CNC直流伺服系統
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保修期
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1年
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工作環境
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溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80%
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振動<0.002g，低于15Hz
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電源
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220V/50Hz/10A
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