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VMU儀器特點
◆ 高端配置，超精密全自動測量，四軸CNC控制；
◆ 三軸THK精密線性滑軌、精密傳動系統；
◆ Renishaw開放式光柵尺，精度高、穩定性好；
◆ Navitar自動變倍光學鏡頭，可實現自動變倍測量；
◆ 全鼠標、手柄操作，簡單易用；
◆ 可程控6環8區環形表面光源，LED輪廓光源，同軸光源；
◆ 自動對焦測高，可加裝接觸式測頭；
◆ Vispec全自動影像測量軟件（高端版）；
◆ 提供多種行程規格配置，如222、322、432、542等。
VMU技術參數
型號 |
VMU222 |
VMU322 |
VMU432 |
VMU542 |
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行程(mm) |
200×200×200 |
300×200×200 |
400×300×200 |
500×400×200 |
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外部尺寸(mm) |
1040×700×1620 |
1040×700×1620 |
1240×800×1620 |
1440×900×1620 |
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重量(kg) |
150 |
160 |
200 |
250 |
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承重(kg) |
25 |
25 |
25 |
25 |
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測量精度 |
XY軸* |
E2=(2.0+L/300)μm |
E2=(2.5+L/300)μm |
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?Z軸** |
E1=(5.0+L/200)μm |
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速度 |
XY軸 |
200mm/S |
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?Z軸 |
100mm/S |
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光柵尺 |
Renishaw光柵尺，0.4μm分辨率 |
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CCD |
SONY 1/2"CCD黑白/彩色 |
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光源 |
輪廓光 |
?LED冷光源，256級亮度可調 |
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表面光 |
6環8區LED冷光源，各段獨立操控，256級亮度可調 |
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同軸光 |
LED冷光源，256級亮度可調 |
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光學系統*** |
Navitar 6.5:1可變倍，放大倍率29～163或58～326 |
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軟件 |
Vispec測量軟件（高端版） |
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運動控制 |
自主專利的CNC直流伺服系統???????????????????????????????????????????????????????????????? |
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保修期 |
1年 |
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工作環境 |
溫度20℃±2℃，溫度變化<2℃/hr，濕度30～80% |
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振動<0.002g，低于15Hz |
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電源 |
220V/50Hz/10A |
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*L表示測量長度，以毫米為單位。
**Z軸的機械精度，聚焦的精度與工件表面有很大關系。
***放大倍率為近似值，具體值與顯示器的尺寸以及顯示器的分辨率相關。
