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雙管臥式真空燒結(jié)爐擴散燒結(jié)爐單管擴散爐

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產(chǎn)品價格: 電議/人民幣 
最后更新: 2012-10-18 10:53:16
產(chǎn)品產(chǎn)地: 青島
發(fā)貨地: 青島 (發(fā)貨期:當天內(nèi)發(fā)貨)
供應數(shù)量: 不限
有效期: 長期有效
最少起訂: 1
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    產(chǎn)品詳細說明







    擴散爐應用行業(yè)

    擴散爐應用:應用于集成電路、分立器件、光電子器件、電力電子器件、太陽能電池、半導體器件的擴散、氧化退火、燒結(jié)等工藝,也可做為磁性材料的燒結(jié)工藝,還可適用于機械行業(yè)的淬火、冶金業(yè)稀土的燒結(jié)工藝。
    擴散爐特點
      1主機為水平一至四管爐系統(tǒng)構(gòu)架,獨立完成不同的工藝或相同工藝
      2工業(yè)計算機控制系統(tǒng),對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制
      3采用懸臂送片器:操作方便、無摩擦污染等
      4關鍵部件均采用進口,確保設備的高可靠性
      5工藝管路采用進口閥門管件組成氣密性好、耐腐蝕、無污染(管路均采用EP級電拋光管路),流量控制采用質(zhì)量流量計(MFC)進口
      6控溫精度高,溫區(qū)控溫穩(wěn)定性好;
      7具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能

    擴散爐主要技術(shù)指標
      1、工藝說明
      1.1氧化:干氧工藝,濕氧工藝(去離子水、氫氧合成-內(nèi)/外點火)
      1.2擴散:硼擴、磷擴(液態(tài)源、固態(tài)源等)
      1.3合金、退火等工藝
      2、系統(tǒng)組成:主機(加熱體、石英/SiC管、功率組件等)、自動送片(懸臂-SiC)凈化工作臺、氣路氣源系統(tǒng)(氣源柜)、計算機控系統(tǒng)等組成

      3、控制方式:手動送片/自動送片
      4、擴散爐配置(可選):
      4.1儀表控制/計算機控制
      4.2工藝管(水平結(jié)構(gòu)):1-4
      4.3工藝規(guī)格:2~6英寸晶圓或125mm×125mm156mm×156mm太陽能電池片(工藝腔體為石英或碳化硅)
      4.4恒溫區(qū)長度:1100mm/800mm/600mm/450mm
      4.5晶圓裝載:懸臂式,剛玉/碳化硅桿,碳化硅槳
      4.6工作臺:有凈化/無凈化
      4.7工藝氣路:對應的工藝氣路,氣路閥門組件采用國際優(yōu)質(zhì)品牌產(chǎn)品(如SWAGELOKPARK、SANDVIK、CARDINAL等等),MFC國際優(yōu)質(zhì)(如MKS、UNIT、STEC等)或國產(chǎn)優(yōu)質(zhì)

      5、擴散爐主要技術(shù)參數(shù):
      5.1工作溫度:2001300
      5.2加熱體控制點:3/5
      5.3爐體恒溫區(qū):450mm/600mm/800mm/1100mm
      5.4恒溫區(qū)精度:>800/±0.5,<800/±1
      5.5單點溫度穩(wěn)定性:6001300/±0.5/24h
      5.6最大可控升溫速度:25/min
      5.7最大降溫速度:5/min9001300
      5.8供電:三相四線,380VAC/50Hz
      6、結(jié)構(gòu)尺寸:
      6.1結(jié)構(gòu):水平擴散爐/垂直擴散爐

    擴散爐選型

    1按結(jié)構(gòu)可分為立式和臥式兩種。
    2
    推拉舟有斜滾.雙桿.懸臂三種形式。
    3
    工作臺有簡易操作臺(無凈化、凈化);標準操作臺(無凈化、凈化)。
    4
    按管路的組成及連接形式可從以下兩方面來區(qū)分:
    1.
    按流量控制器區(qū)分:可分為浮子流量計和質(zhì)量流量控制器。
    2.
    按閥門及連接方式區(qū)分:可分為進口電磁閥卡套連接.進口氣動閥卡套連接.進口氣動閥VCR連接三種形式。
    5
    按工藝類型區(qū)分:可分為干氧氧化.濕氧氧化(普通濕氧化和氫氧合成氧化). 磷擴散.硼擴散和退火(合金)等多種。

     

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